ГРУШИНСКИ Ральф (DE)

Изобретение может быть использовано в полупроводниковой промышленности. Сущность изобретения: способ разделения монокристалла, в частности GaAs, заключается в том, что монокристалл (1) разрезается, по меньшей мере, на две части и режущий инструмент (2, 3; 8, 8а, 8b, 8с) перемещают относительно друг друга в направлении продвижения (V), при этом монокристалл (1) ориентируют таким образом, что заданн...

Изобретение относится к устройству и способу разделения материалов, в частности монокристаллов. Техническим результатом является эффективная очистка и удаление снятого материала во время разрезания. Для этого устройство содержит режущий диск с концентрическим отверстием, край которого образует режущую кромку, при этом режущий диск выполнен с возможностью вращения вокруг его центральной оси с целью...