Семенов Э.И. (RU)
Изобретатель Семенов Э.И. (RU) является автором следующих патентов:
Емкостный способ контроля толщины покрытий, наносимых в вакууме
Изобретение относится к средствам наблюдения за процессом нанесения покрытий. Технический результат: расширение диапазона контролируемой толщины покрытий и возможность контроля толщины тонких пленок и покрытий из различных, в том числе и проводящих, материалов. Сущность: паровой поток пропускают через верхнюю обкладку конденсатора, выполненную перфорированной или в виде сетки, и осаждают на приемн...
2261416