Постников Александр Владимирович (RU)

Поверхностный элемент с объемной микроструктурой, обладающий угловой анизотропией цвета и прозрачности, способ изготовления элемента для повышения качества содержит элементы микрорельефа с покрытием с двух сторон, отличным по оптическим свойствам. 2 с. и 12 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к приборам микро- электромеханических систем (МЭМС), в частности к их изготовлению на стандартных пластинах кремния. Способ включает выполнение в объеме кремниевой пластины канавок и удаление кремния с обратной стороны пластины для вскрытия дна канавок. При этом канавки выполняют для формирования кремниевых структур, представляющих собой стенки полых ячеек, а затем проводят...