Ломаев Михаил Иванович (RU)

Изобретение относится к газоразрядным источникам излучения, в частности к лампам барьерного разряда, излучающим на переходах эксимерных и эксиплексных молекул, и может быть использовано в различных областях науки и техники, например в фотохимии и в медицине. Источник содержит разрядную колбу с газовой средой, образованную двумя коаксиальными цилиндрическими трубками из прозрачного на рабочей длине...

Изобретение относится к светотехнике и может быть использовано при создании и применении эффективных источников излучения в ультрафиолетовой (УФ) и вакуумной ультрафиолетовой (ВУФ) областях спектра. Техническим результатом является увеличение плотности мощности излучения на облучаемом объекте в коротковолновой области спектра и увеличение коэффициента теплопроводности. Источник содержит две цилинд...

Изобретение относится к светотехнике и может быть использовано при создании и применении однобарьерных вакуумных ламп в области ультрафиолетового диапазона спектра, в частности в микроэлектронике при обработке и чистке поверхности посредством ее облучения. Техническим результатом является уменьшение напряжения пробоя, температуры колбы лампы и рабочего газа. Катод лампы изготовлен периодически кас...

Изобретение относится к светотехнике и может быть использовано при создании и применении эффективных газоразрядных источников спонтанного излучения, в частности, при разработке источников излучения в вакуумной и вакуумной ультрафиолетовой областях спектра и их применении в микроэлектронике при обработке и чистке поверхности посредством ее облучения. Техническим результатом является упрощение конст...

Изобретение относится к области генерирования пучков заряженных частиц и может быть использовано при исследовании взаимодействия потоков заряженных частиц с веществом, в квантовой электронике, катодолюминесцентном анализе, плазмохимии и других областях. Способ увеличения плотности субнаносекундного электронного пучка заключается в том, что в газовом разряде, в газонаполненном промежутке между элек...

Изобретение относится к способу газоразрядного выполнения пленок. С помощью высоковольтных импульсов напряжения с длительностью импульсов на полувысоте не более 10 наносекунд и длительностью фронта не более 4 наносекунд формируют разряд, инициируемый пучком электронов в газовых средах при давлениях от 100 Торр до атмосферного. В промежутке между высоковольтным распыляемым электродом с головкой, ко...