Березкин Валерий Алексеевич (RU)

Изобретение относится к области микроэлектронных и микромеханических устройств. Датчик содержит кремниевую рамку - основание с мембраной, выполненной из чередующихся слоев двуокиси и нитрида кремния с заданным соотношением толщин слоев. На мембране размещены нагревательный резистор и два платиновых резистора, один из которых является чувствительным элементом (ЧЭ) датчика, а другой служит для темпе...

Изобретение относится к области технологии изготовления микроэлектронных и микромеханических устройств и может быть использовано при изготовлении датчиков перемещения движущихся сред, газовых анализаторов термометров сопротивления и т.д. Технический результат изобретения состоит в том, что способ формирования элементов из каталитических металлов на поверхностях сенсоров позволяет получить хорошую...

Изобретение относится к области микроэлектронных и микромеханических устройств и может быть использовано в качестве первичного преобразователя (сенсора) количества прошедшей по трубопроводу жидкости или газа в электрические сигналы расходомеров или счетчиков. Первичный преобразователь расхода текучих сред выполнен в виде кристалла кремния, который содержит кремниевую рамку-основание, диэлектриче...