Шкуропат Иван Георкиевич (RU)

Изобретение относится к области микроэлектронных и микромеханических устройств. Датчик содержит кремниевую рамку - основание с мембраной, выполненной из чередующихся слоев двуокиси и нитрида кремния с заданным соотношением толщин слоев. На мембране размещены нагревательный резистор и два платиновых резистора, один из которых является чувствительным элементом (ЧЭ) датчика, а другой служит для темпе...