PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Христофоров Олег Борисович (RU)

Изобретатель Христофоров Олег Борисович (RU) является автором следующих патентов:

Эуф источник с вращающимися электродами и способ получения эуф излучения из газоразрядной плазмы

Эуф источник с вращающимися электродами и способ получения эуф излучения из газоразрядной плазмы

Использование: для получения экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения из газоразрядной плазмы. Сущность: заключается в том, что в качестве электродов использованы два дискообразных элемента, центральные оси симметрии которых совмещены с осью вала, периферийная часть поверхности, по крайней мере, одного из электродов покрыта слоем легкоплавкого металла, и введена система подачи легкоплавког...

2278483

Способ получения коротковолнового излучения из плазмы вакуумного разряда

Способ получения коротковолнового излучения из плазмы вакуумного разряда

Изобретение относится к способу эффективного получения коротковолнового, в частности, экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения из плазмы импульсных вакуумных разрядов преимущественно с вращающимися электродами. Изобретение может быть использовано для ЭУФ литографии, в частности, на длине волны λ=13,5 нм, соответствующей эффективному отражению зеркальной Mo/Si оптики. Способ получения кор...

2365068

Устройство для получения мощного коротковолнового излучения из разрядной плазмы

Устройство для получения мощного коротковолнового излучения из разрядной плазмы

Изобретение относится к устройству для получения мощного коротковолнового, в частности, экстремального ультрафиолетового излучения преимущественно из плазмы импульсного вакуумного разряда, инициируемого лазером между вращающимися электродами. Устройство для получения мощного коротковолнового излучения из разрядной плазмы содержит соединенные с приводами вращения электроды, каждый из которых част...

2365069

Источник эуф-излучения

Источник эуф-излучения

Использование: для получения экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения. Сущность: заключается в том, что источник ЭУФ-излучения с двумя жестко закрепленными на валу вращения дискообразными электродами, подключенными посредством скользящих контактов к источнику питания, содержит систему инициирования разряда в периферийной области межэлектродного зазора и устройство подачи плазмообразующег...

2373591

Мощный источник эуф излучения

Мощный источник эуф излучения

Использование: для получения экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения. Сущность: заключается в том, что мощный источник ЭУФ излучения с двумя жестко закрепленными на валу вращения дискообразными электродами содержит систему инициирования разряда в периферийной области межэлектродного зазора и устройство подачи плазмообразующего металла на один из электродов, являющийся инициирующим, выпол...

2383074


Импульсно-периодический газоразрядный лазер

Импульсно-периодический газоразрядный лазер

Лазер, преимущественно эксимерный, содержит корпус, в котором размещены система формирования газового потока, предыонизатор, высоковольтный и заземленный электроды. К электродам через газопроницаемые токопроводы подсоединены конденсаторы, расположенные в двух контейнерах, установленных по обе стороны плоскости, включающей в себя оси электродов. В систему формирования газового потока введены напра...

2446530

Эксимерный лазер

Эксимерный лазер

Изобретение относится к квантовой электронике, в частности к компактным импульсно-периодическим эксимерным лазерам с УФ предыонизацией. Эксимерный лазер содержит протяженный керамический корпус, в котором размещены система формирования газового потока, предыонизатор и электроды. При этом керамический корпус лазера выполнен из n (n≥2) цилиндрических модулей, герметично соединенных между собой с по...

2467442

Комплекс экологического мониторинга водных объектов

Комплекс экологического мониторинга водных объектов

Изобретение относится к автоматическим средствам измерения показателей качества водных объектов и может быть использовано в системах экологического мониторинга водных объектов. Сущность: комплекс содержит многоволновой лидар, включающий в себя следующие устройства: зондирующий водную поверхность компактный многоволновой импульсно-периодический лазерный излучатель (8), генерирующий излучение, по...

2499248

Устройство и способ для нанесения сверхпроводящих слоев

Устройство и способ для нанесения сверхпроводящих слоев

Изобретение относится к области высокотемпературной сверхпроводимости и может использоваться для изготовления ленточных высокотемпературных сверхпроводников второго поколения. Сущность: устройство для нанесения сверхпроводящих слоев содержит камеру осаждения с зоной нагрева, через которую перемещается протяженная подложка; импульсно-периодический лазер, сфокусированный на мишень, имеющую покрыти...

2503096

Газоразрядный лазер

Газоразрядный лазер

Изобретение относится к лазерной технике. В газоразрядном лазере конденсаторы, малоиндуктивно подключенные к электродам лазера, размещены вблизи первого электрода в керамических контейнерах и малоиндуктивно соединены с импульсным источником питания через токовводы каждого контейнера, высоковольтные токовводы металлической лазерной камеры и протяженные заземленные токопроводы, расположенные по об...

2503104


Газоразрядный лазер и способ генерации излучения

Газоразрядный лазер и способ генерации излучения

Изобретение относится к лазерной технике. Лазер, преимущественно эксимерный, включает в себя лазерную камеру, состоящую из керамического материала и имеющую протяженные первый и второй электроды, первый из которых расположен вблизи внутренней поверхности лазерной камеры, блок предыонизации; систему циркуляции газа; набор конденсаторов, расположенных вне лазерной камеры, и источник питания, подкл...

2506671

Газоразрядный лазер

Газоразрядный лазер

Изобретение относится к лазерной технике. Газоразрядный лазер включает в себя: заполненную газовой смесью лазерную камеру, имеющую отстоящие друг от друга протяженные первый и второй электроды, блок предыонизации, систему циркуляции газа, набор конденсаторов, расположенных вне лазерной камеры и соединенных с электродами через электрические вводы лазерной камеры и газопроницаемые обратные токопро...

2507653

Газоразрядный лазер, лазерная система и способ генерации излучения

Газоразрядный лазер, лазерная система и способ генерации излучения

Изобретение относится к лазерной технике. В газоразрядном лазере конденсаторы (11), малоиндуктивно подключенные к электродам (2, 3) лазера, размещены вблизи первого электрода (2) в керамических контейнерах (10) и малоиндуктивно соединены с импульсным источником питания (15) через токовводы (12, 13) каждого контейнера, высоковольтные токовводы (21) металлической лазерной камеры (1) и протяженные...

2507654

Газоразрядный лазер и способ генерации излучения

Газоразрядный лазер и способ генерации излучения

Изобретение относится к лазерной технике. Газоразрядный лазер включает в себя: лазерную камеру, имеющую отстоящие друг от друга протяженные электроды, протяженный блок предыонизации; систему циркуляции газа; набор конденсаторов, размещенных в керамических контейнерах, установленных вблизи первого электрода, указанные конденсаторы подключены к электродам через токовводы керамических контейнеров и...

2510109

Газоразрядный лазер

Газоразрядный лазер

Изобретение относится к лазерной технике. Газоразрядный лазер включает в себя: заполненную газовой смесью лазерную камеру, состоящую из керамического материала и имеющую отстоящие друг от друга протяженные первый и второй электроды, определяющие область разряда между ними, протяженный блок предыонизации и систему циркуляции газа. Первый электрод расположен вблизи внутренней поверхности лазерной...

2510110


Газоразрядный лазер, лазерная система и способ генерации излучения

Газоразрядный лазер, лазерная система и способ генерации излучения

Изобретение относится к лазерной технике. Газоразрядный лазер включает в себя: лазерную камеру (1), состоящую из керамического материала и заполненную газовой смесью, протяженные электроды (2, 3), определяющие область разряда (4), блок предыонизации (5); систему циркуляции газа (9, 10, 11, 12, 13); набор конденсаторов (14), расположенных вне лазерной камеры (1) и соединенных с первым и вторым эл...

2514159

Газоразрядный лазер

Газоразрядный лазер

Изобретение относится к лазерной технике. В газоразрядном лазере конденсаторы, малоиндуктивно подключенные к электродам лазера, размещены вблизи первого электрода в керамических контейнерах. При этом части каждого протяженного керамического контейнера размещены сбоку от области разряда, образуя расположенные вверх и вниз по потоку от области разряда направляющие газового потока/спойлеры, значите...

2519867

Эксимерная лазерная система и способ генерации излучения

Эксимерная лазерная система и способ генерации излучения

Изобретение относится к лазерной технике. Эксимерная лазерная система содержит шасси, на котором размещены: импульсный источник питания, выводы которого малоиндуктивно подсоединены к конденсаторам каждого лазерного модуля; дополнительный источник питания с полярностью, противоположной полярности источника питания, подключенный к дополнительным конденсаторам через торцы каждого керамического конт...

2519869

Погружной комплекс экологического мониторинга водных объектов

Погружной комплекс экологического мониторинга водных объектов

Изобретение относится к технике экологического контроля, в частности, к автоматизированным средствам измерения показателей качества водных объектов, преимущественно подверженных риску нефтегенных загрязнений, и может использоваться в составе систем экологического мониторинга природных сред. Техническим результатом изобретения является обеспечение автоматизированного получения и обработки широког...

2521246

Система обнаружения и мониторинга загрязнений морского нефтегазового промысла

Система обнаружения и мониторинга загрязнений морского нефтегазового промысла

Изобретение относится к автоматизированным системам обнаружения и мониторинга нефтегенных загрязнений морского нефтегазового промысла. Система включает в себя сеть флуоресцентных лидаров, установленных на нефтегазодобывающей платформе, танкерах, осуществляющих транспортировку нефти, и судах, обслуживающих промысел; сеть установленных на удалении от нефтегазодобывающей платформы автоматических пл...

2522821


Газоразрядная лазерная система и способ генерации излучения

Газоразрядная лазерная система и способ генерации излучения

Изобретение относится к квантовой электронике. Лазерная система содержит шасси, на котором размещены первый и второй идентичные лазерные модули. Каждый из модулей включает в себя металлический корпус, в котором размещены протяженные: система формирования газового потока, предыонизатор, первый электрод, расположенный со стороны стенки корпуса, второй электрод. Вблизи первого электрода установлены...

2531069

Разрядная система высокоэффективного газового лазера

Разрядная система высокоэффективного газового лазера

Изобретение относится к лазерной технике. Разрядная система высокоэффективного газового лазера содержит расположенные в корпусе лазера протяженные первый и второй электроды, определяющие зону разряда между ними. Сбоку от одного из электродов размещен УФ предыонизатор, выполненный в виде системы зажигания однородного скользящего разряда между протяженными поджигающим электродом и дополнительным э...

2548240

Разрядная система эксимерного лазера (варианты)

Разрядная система эксимерного лазера (варианты)

Изобретение относится к лазерной технике. Разрядная система эксимерного лазера включает в себя расположенную в лазерной камере (1) зону объемного разряда (4) между первым и вторым электродами (2), (3), продольные оси которых параллельны друг другу, каждый блок предыонизации (5) содержит систему формирования однородного завершенного скользящего разряда (CP) по поверхности протяженной диэлектричес...

2557325

Газоразрядный эксимерный лазер (варианты)

Газоразрядный эксимерный лазер (варианты)

Изобретение относится к лазерной технике. Лазер включает газонаполненный корпус, на котором установлена керамическая разрядная камера с протяженным высоковольтным фланцем, расположенные в разрядной камере протяженные высоковольтный электрод, заземленный электрод и, по меньшей мере, один блок предыонизации. Каждый блок предыонизации содержит систему формирования скользящего разряда, включающую в...

2557327

Разрядная система газового лазера

Разрядная система газового лазера

Изобретение относится к лазерной технике. Разрядная система газового лазера содержит расположенные в корпусе лазера протяженные первый и второй электроды лазера, УФ предыонизатор, расположенный сбоку от одного из электродов лазера и выполненный в виде системы зажигания скользящего разряда между протяженными поджигающим электродом и дополнительным электродом, расположенными на поверхности диэлект...

2559029