Кузьмин Олег Станиславович (RU)

Изобретение относится к области плазменной техники, а именно к магнетронным распылительным системам, и может быть использовано для осаждения покрытий на поверхности протяженных листовых материалов, в частности для создания покрытий на стекле архитектурного назначения. Магнетронное распылительное устройство содержит магнитный блок, включающий магнитопровод (2) и постоянные магниты (3), и плоский ка...

Изобретение относится к запорной аппаратуре и предназначено для использования в многокамерных установках молекулярно-лучевой эпитаксии, напылительных установках и других технологических системах, где для обеспечения технологического цикла необходим перенос пластинчатых изделий или кассет с подложками из одного вакуумного объема в другой. Вакуумный щелевой клапан содержит корпус с проходными соосны...