Беляев Яков Валерьевич (RU)

Изобретение относится к приборам, измеряющим угловую скорость, в частности к микромеханическим гироскопам вибрационного типа. Микромеханический гироскоп содержит подвижную массу, систему измерения перемещений подвижной массы, которая включает в себя электроды, расположенные на первой и второй осях перемещения подвижной массы, и интегральные микросхемы, преобразователи "емкость-напряжение", а также...

Изобретение относится к контролю качества микромеханических устройств, используемых в акселерометрах, гироскопах, датчиках давления. Способ предназначен для микромеханических устройств, содержащих подвижную массу (ПМ), электростатический задатчик силы и датчик перемещения подвижного элемента. Сущность: изменяют напряжение, по крайней мере, на одном из электродов. Измеряют перемещения ПМ, обусловле...

Изобретение относится к приборам, измеряющим угловую скорость, в частности к микромеханическим гироскопам (ММГ) вибрационного типа. ММГ содержит основание из кремния с установленными на нем через изолирующие слои статорами и опорой, на которой с помощью торсионов подвешен ротор, и крышку из кремния с нанесенным на нем изолирующим слоем, на котором расположены электроды, и электронный блок с источн...

Изобретение относится к приборам, измеряющим угловую скорость, в частности к микромеханическим гироскопам (ММГ) вибрационного типа. ММГ содержит опору на основании, к которой на резонансном подвесе подвешена проводящая подвижная масса. Две пары неподвижных электродов нанесены на крышку ММГ, которая крепится к основанию. Гребенчатый двигатель образован зубцами статоров, установленных на основание...

Использование: для герметизации МЭМС устройств. Сущность изобретения заключается в том, что способ включает формирование в приборном слое изолирующих канавок глубиной до захороненного окисла, формирование на поверхности приборного слоя металла в зоне эвтектического сплава и на контактных площадках МЭМС-устройств, формирование на герметизирующей крышке соединяющих шин и обкладок емкостей на основе...