ЧЕРЕПАНОВ Александр (FR)

Изобретение относится к области приборостроения и может быть использовано для плазменной обработки поверхности объекта или частиц, подлежащих обработке. Технический результат - расширение функциональных возможностей. Для достижения данного результата подлежащую обработке поверхность возбуждают или приводят в акустические колебания плазму с целью создания относительного движения между плазмой и под...