Берлин Евгений Владимирович (RU)

Изобретения относятся к плазменной технологии, в частности к способу и устройству для нанесения металлического покрытия на диэлектрическую подложку, и могут быть использованы для металлизации, размер области которой занимает небольшую часть общей поверхности подложки, элементов микромеханики, фильтров, линии задержки, интегральных микросхем и печатных плат. Способ заключается в катодном распылении...

Изобретения относятся к области изделий интегральной электроники, работающих на частотах свыше 100 МГц. СВЧ гибридная интегральная схема (ГИС) содержит диэлектрическую подложку с нанесенной на нее металлизацией, состоящей из двух слоев - адгезионного подслоя и слоя металла с высокой проводимостью. Адгезионный подслой выполнен из диэлектрического материала толщиной 0,02-0,5 мкм. В качестве адгезион...

Изобретение относится к технологии получения покрытий методом магнетронного распыления и может быть использовано при нанесении покрытий на различные изделия из сталей, твердых сплавов и жаропрочных материалов. Предложенный способ включает размещение изделия в вакуумной камере, нагрев и подачу в нее кислорода. Перед процессом распыления в вакуумной камере создают разрежение не более 10-3 Па. Нагрев...

Изобретение относится к области машиностроения, в частности к нанесению покрытий в вакууме, и может быть использовано при обработке лопаток газотурбинных двигателей, например, пазов замков компрессорных лопаток. Лопатку предварительно обрабатывают путем обработки электрокорундом и химической очистки ее поверхности. При помещении лопатки в вакуумную камеру изолируют часть ее поверхности, не подлежа...

Изобретение относится к устройствам для нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано для нанесения защитных, упрочняющих и декоративных покрытий на изделия различного назначения. Установка содержит корпус (1) вакуумной камеры, магнетроны (2) и (3), включающие мишень и магнитную систему, и поворотный барабан (12) для размещения обрабатываемых изделий. Внутренняя поверхность барабана (12)...

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для обработки материалов в среде низкотемпературной плазмы газового разряда, а именно к индукционным генераторам плазмы, размещаемым внутри технологического объема (рабочей камеры). Технический результат - повышение КПД устройства; повышение надежности работы устройства, повышение чистоты плазменной среды и увеличение плотности генерируемой пл...

Изобретение относится к области машиностроения, в частности к технологии упрочнения и повышения коррозионной стойкости лопаток компрессора газотурбинных двигателей, а также может быть использовано в области создания накопителей и преобразователей энергии на основе суперконденсаторов с алюминиевыми электродами. Способ комбинированной ионно-плазменной обработки изделий из алюминиевых сплавов включ...