Анчутин Степан Александрович (RU)

Изобретение относится к гироскопическим приборам и может быть использовано в системах управления подвижных объектов различного назначения, в частности высокодинамичных быстровращающихся объектов, а также может использоваться в качестве индикаторов углового движения. Интегрирующий микромеханический вибрационный гироскоп, согласно изобретению, содержит чувствительный элемент, выполненный на подложке...

Изобретение относится к гравиинерциальным микромеханическим приборам и может быть использовано в системах управления подвижных объектов различного назначения, а также в качестве индикаторов движения объектов. Чувствительный элемент микромеханического датчика, выполненный на подложке из монокристаллического кремния, ориентированной в плоскости (100), содержит подвес инерционной массы в виде консоль...

Изобретение относится к измерительной технике. Сущность: определяют зазор на основе измерения электрической емкости между чувствительным элементом упругого подвеса и электродом. Первоначально измеряется величина электрической емкости между чувствительным элементом упругого подвеса и электродом в исходном положении чувствительного элемента. Затем чувствительный элемент перемещается до касания с его...

Изобретение относится к измерительной технике. Сущность: нагружают упругий подвес статическим усилием в области упругих деформаций. Измеряется электрическая емкость между чувствительным элементом и электродом системы съема перемещений. Затем на электрод подается электрический потенциал, при этом снова измеряется электрическая емкость между чувствительным элементом и электродом системы съема переме...

Изобретение относится к области технологических процессов изготовления микросистемной техники. Изобретение обеспечивает повышение точности и воспроизводимости конфигурации и размеров объемных фигур травления. Сущность изобретения: способ компенсации растрава внешних углов объемных фигур травления, формируемых в кремниевых пластинах с ориентацией поверхности (100) методом анизотропного химического...

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в микромеханических гироскопах для систем управления подвижных объектов различного назначения. Чувствительный элемент содержит закрепленную на неподвижном основании опорную рамку, закрепленные на ней через упругие подвесы кольцо (подвижная масса) с одной стороны, и с другой стороны кольцо (подвижная масса). Упругие элементы...

Изобретение относится к гироскопическим приборам и может быть использовано в системах управления подвижных объектов различного назначения в качестве индикаторов угловой скорости. Чувствительный элемент кольцевого микромеханического вибрационного гироскопа состоит из основания, кольцевого резонатора и упругих подвесов. Кольцо резонатора выполнено в виде с переменным по длине сечением, при этом зав...

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в микромеханических датчиках линейных ускорений. Чувствительный элемент, выполненный из монокристаллического кремния низкой проводимости, содержит центральную площадку, соединенную со стеклянной подложкой, на которых находятся электроды емкостного преобразователя, внешнюю рамку с площадками крепления, соединенную с инерционн...

Изобретение может применяться в микромеханических датчиках линейных ускорений. Сущность изобретения заключается в том, что микромеханический акселерометр содержит чувствительный элемент, выполненный из монокристаллического кремния низкой проводимости, внешнюю рамку с закрепленным на ней маятником при помощи упругих торсионов. Внешняя рамка имеет переменную ширину. В узкой ее части сформированы П...

Изобретение относится к области измерительной техники, а именно к устройствам для построения электронной системы преобразователя линейных ускорений. Электронная система компенсационного акселерометра содержит дифференциальный емкостный преобразователь, двухфазный генератор переменного тока, источник опорного напряжения постоянного тока, усилитель, состоящий из усилителя переменного тока, фазового...