Зотов Сергей Александрович (RU)

Изобретение относится к гироскопическим приборам и может быть использовано в системах управления подвижных объектов различного назначения, в частности высокодинамичных быстровращающихся объектов, а также может использоваться в качестве индикаторов углового движения. Интегрирующий микромеханический вибрационный гироскоп, согласно изобретению, содержит чувствительный элемент, выполненный на подложке...

Изобретение относится к гравиинерциальным микромеханическим приборам и может быть использовано в системах управления подвижных объектов различного назначения, а также в качестве индикаторов движения объектов. Чувствительный элемент микромеханического датчика, выполненный на подложке из монокристаллического кремния, ориентированной в плоскости (100), содержит подвес инерционной массы в виде консоль...

Изобретение относится к измерительной технике. Сущность: определяют зазор на основе измерения электрической емкости между чувствительным элементом упругого подвеса и электродом. Первоначально измеряется величина электрической емкости между чувствительным элементом упругого подвеса и электродом в исходном положении чувствительного элемента. Затем чувствительный элемент перемещается до касания с его...

Изобретение относится к измерительной технике. Сущность: нагружают упругий подвес статическим усилием в области упругих деформаций. Измеряется электрическая емкость между чувствительным элементом и электродом системы съема перемещений. Затем на электрод подается электрический потенциал, при этом снова измеряется электрическая емкость между чувствительным элементом и электродом системы съема переме...

Изобретение относится к области технологических процессов изготовления микросистемной техники. Изобретение обеспечивает повышение точности и воспроизводимости конфигурации и размеров объемных фигур травления. Сущность изобретения: способ компенсации растрава внешних углов объемных фигур травления, формируемых в кремниевых пластинах с ориентацией поверхности (100) методом анизотропного химического...

Изобретение относится к системе управления регенерацией рукавных фильтров. Способ управления регенерацией рукавных фильтров включает подачу запыленных газов в рукавный фильтр, регенерацию рукавных фильтров путем продувки сжатым воздухом и через определенный период времени, измерение давления газов до и после модуля рукавных фильтров. Промежуток времени между регенерациями рукавных фильтров устанав...

Изобретение относится к непрерывному процессу "сухой" очистки газов электролизного производства, а именно к системе управления регенерацией рукавных фильтров. Способ управления регенерацией рукавных пылевых фильтров включает подачу запыленных газов в рукавный фильтр, регенерацию путем продувки сжатым воздухом рукавных фильтров и через определенный период времени измерение давления газов до и посл...