Тимошенков Сергей Петрович (RU)

Изобретение относится к гироскопическим приборам и может быть использовано в системах управления подвижных объектов различного назначения, в частности высокодинамичных быстровращающихся объектов, а также может использоваться в качестве индикаторов углового движения. Интегрирующий микромеханический вибрационный гироскоп, согласно изобретению, содержит чувствительный элемент, выполненный на подложке...

Изобретение относится к гравиинерциальным микромеханическим приборам и может быть использовано в системах управления подвижных объектов различного назначения, а также в качестве индикаторов движения объектов. Чувствительный элемент микромеханического датчика, выполненный на подложке из монокристаллического кремния, ориентированной в плоскости (100), содержит подвес инерционной массы в виде консоль...

Изобретение относится к измерительной технике. Сущность: определяют зазор на основе измерения электрической емкости между чувствительным элементом упругого подвеса и электродом. Первоначально измеряется величина электрической емкости между чувствительным элементом упругого подвеса и электродом в исходном положении чувствительного элемента. Затем чувствительный элемент перемещается до касания с его...

Изобретение относится к измерительной технике. Сущность: нагружают упругий подвес статическим усилием в области упругих деформаций. Измеряется электрическая емкость между чувствительным элементом и электродом системы съема перемещений. Затем на электрод подается электрический потенциал, при этом снова измеряется электрическая емкость между чувствительным элементом и электродом системы съема переме...

Изобретение относится к области технологических процессов изготовления микросистемной техники. Изобретение обеспечивает повышение точности и воспроизводимости конфигурации и размеров объемных фигур травления. Сущность изобретения: способ компенсации растрава внешних углов объемных фигур травления, формируемых в кремниевых пластинах с ориентацией поверхности (100) методом анизотропного химического...

Изобретение относится к микромеханике и предназначено для измерения частотных характеристик подвижных элементов микромеханических устройств. Способ включает формирование на неподвижных обкладках конденсатора гармонических сигналов с постоянной составляющей при установке на подвижной обкладке постоянного смещения, равного нулю. При этом выделяется вторая гармоника суммы зарядов, протекающих через...

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для контроля качества микромеханических элементов. Способ измерения резонансных частот МЭМС, включающий закрепление МЭМС на подвижной части вибростенда, которая приводится в колебательное движение с переменной частотой, излучение от линейного источника света направляется на МЭМС, причем ось вдоль длинной стороны лине...

Изобретение относится к кислородному оборудованию члена экипажа самолета. Кислородная маска состоит из пневморемней оголовья, механизма их наддува, лицевой части, включающей жесткий каркас, внутри которого расположен обтюратор. В обтюраторе по периметру зоны прилегания маски к лицу размещены поддувные камеры, соединенные с магистралью наддува пневморемней оголовья, обеспечивающие прилегание маск...

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в микромеханических гироскопах для систем управления подвижных объектов различного назначения. Чувствительный элемент содержит закрепленную на неподвижном основании опорную рамку, закрепленные на ней через упругие подвесы кольцо (подвижная масса) с одной стороны, и с другой стороны кольцо (подвижная масса). Упругие элементы...

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при изготовлении интегральных акселерометров. Чувствительный элемент выполнен из проводящего монокристаллического кремния и содержит маятник, соединенный с помощью упругих подвесов с каркасной рамкой, которая через неподвижную обкладку с помощью консольной балки соединена с несущей рамкой. Несущая рамка площадками крепления...

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при создании микромеханических акселерометров и гироскопов. Датчик содержит чувствительный элемент (ЧЭ) маятникового типа, прикрепленный с помощью упругих подвесов к рамке ЧЭ. Рамка с помощью упоров крепится к основанию прибора, в рамке выполнены сквозные щели, по ее периметру. Это позволяет увеличить расстояние от мест креп...

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения нелинейности выходной характеристики акселерометров. Способ заключается в установке эталонного акселерометра на вибростенде вместе с тестируемым и измерении разности выходных сигналов акселерометров, которая минимизируется при помощи регулирования амплитуды сигнала тестируемого акселерометра, фильтруется. Нелине...

Изобретение относится к инерциальным приборам и может быть использовано в системах управления подвижных объектов различного назначения, а также индикаторах движения объектов. Микромеханический гироскоп содержит внутреннюю и наружную рамки и две пары взаимно перпендикулярных крестообразных торсионов с поперечным сечением в виде Х-образного профиля. Одна из пар торсионов соединяет внешнюю рамку с в...

Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к реакторам для высокоплотной и высокочастотной плазменной обработки полупроводниковых структур. Сущность изобретения: в реактор для плазменной обработки полупроводниковых структур вводится магнитная система, создающая постоянное магнитное поле, силовые линии которого направлены по оси реактора. Осевое магнитное поле, создаваемое магнитной сис...

Изобретение относится к гироскопическим приборам и может быть использовано в системах управления подвижных объектов различного назначения в качестве индикаторов угловой скорости. Чувствительный элемент кольцевого микромеханического вибрационного гироскопа состоит из основания, кольцевого резонатора и упругих подвесов. Кольцо резонатора выполнено в виде с переменным по длине сечением, при этом зав...

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в интегральных гироскопах вибрационного типа. Техническим результатом изобретения является повышение точности гироскопа. Чувствительный элемент микромеханического гироскопа содержит основание, прямоугольную внутреннюю рамку, центр, соединенный четырьмя жесткими растяжками с внутренней рамкой, четыре подвижные массы, каждая из котор...

Предложенное изобретение относится к вакуумной технике и представляет собой газопоглощающий материал в виде нанокомпозитной газопоглощающей структуры для поддержания вакуума в различных приборах, в том числе и в микроэлектромеханических системах. Нанокомпозитная газопоглощающая структура представляет собой пористый кремний с порами нанометрового диапазона, которые заполнены газопоглощающим слоем...

Изобретение относится к технологии изготовления чувствительных элементов микроэлектромеханических систем. Сущность изобретения: способ изготовления чувствительных элементов микроэлектромеханических систем (МЭМС) включает нанесение защитных покрытий на лицевую и обратную сторону пластины, фотолитографию по защитным слоям с лицевой и обратной стороны, глубокое высокопрецизионное травление кремния с...

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в интегральных гироскопах осциляторного типа. Техническим результатом является повышение точности гироскопа. Интегральный чувствительный элемент вибрационного гироскопа содержит стеклянное основание, чувствительный элемент-резонатор, выполненный в виде тонкостенного цилиндра из низкоомного монокристаллического кремния, схему возбуж...

Изобретение относится к вакуумной технике и представляет собой способ получения газопоглощающей структуры для поддержания вакуума в различных приборах, в том числе микроэлектромеханических системах. Газопоглощающая структура представляет собой слой активного металла либо сплава с развитой поверхностью, соединенный с несущей подложкой, обеспечивающей механическую прочность газопоглотителя и возмож...

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в микромеханических датчиках линейных ускорений. Чувствительный элемент, выполненный из монокристаллического кремния низкой проводимости, содержит центральную площадку, соединенную со стеклянной подложкой, на которых находятся электроды емкостного преобразователя, внешнюю рамку с площадками крепления, соединенную с инерционн...

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в микромеханических компенсационных акселерометрах. Чувствительный элемент содержит инерционную массу, упругие элементы, катушку обратной связи, проводящие дорожки для электрической связи катушек обратной связи со схемой управления, стеклянные обкладки, внешнюю рамку, с расположенными на ней площадками крепления к стеклянным обкла...

Изобретение может применяться в микромеханических датчиках линейных ускорений. Сущность изобретения заключается в том, что микромеханический акселерометр содержит чувствительный элемент, выполненный из монокристаллического кремния низкой проводимости, внешнюю рамку с закрепленным на ней маятником при помощи упругих торсионов. Внешняя рамка имеет переменную ширину. В узкой ее части сформированы П...

Изобретение относится к области приборостроения и радиоэлектроники и может быть использовано при изготовлении гибких микропечатных плат, применяемых при изготовлении вторичных преобразователей микромеханических акселерометров, микрогироскопов, интегральных датчиков давления и других изделий. Технический результат - получение высокоплотного монтажа при ширине электропроводящих дорожек менее 50 мк...

Изобретение относится к вакуумной технике и представляет собой нанокомпозитную газопоглощающую структуру и способ ее получения, предназначенную для поддержания вакуума в различных приборах, в том числе микроэлектромеханических системах. Нанокомпозитная газопоглощающая структура представляет собой кремниевую подложку с центрами кристаллизации на поверхности, на которых выращен слой активного мета...