ШЛОССЕР Мартин Эндрю (US)

Изобретение предназначено для систем, использующих сверхчистый технологический материал (например, в производстве полупроводников). В процессе изготовления Кориолисова расходомера из пластика по меньшей мере одну расходомерную трубку с прикрепленными к ней приводом и датчиками соединяют с основанием. Впускной и выпускной концы расходомерной трубки прикрепляют к технологическим соединениям, которые...

Изобретение предназначено для измерения технологического материала, используемого при производстве полупроводниковых пластин для микросхем. Расходомер содержит по меньшей мере одну измерительную трубу, присоединенную концевыми частями к стойкам на верхней поверхности массивного основания в виде параллелепипеда для образования по существу неподвижных узлов на концевых частях. Весь смачиваемый путь...

Изобретение позволяет обеспечить температурную компенсацию значения массового расхода для Кориолисова расходомера. Температурная компенсация выходных сигналов расходомера осуществляется путем использования частоты F возбуждения в качестве индикатора изменений температуры расходомерной трубки и не требует использования датчиков температуры. Компенсация проводится в электронной измерительной схеме К...

Изобретение относится к вибрационным измерителям и, в частности, к способам и устройствам для определения асимметричного потока в многопоточных измерителях вибрации труб. Предлагается расходомер, который включает в себя сенсорный узел и измерительную электронику. Расходомер содержит две или более расходомерных трубок, возбудитель, соединенный с расходомерными трубками, который ориентирован с возмо...