УИЛЕР Мэттью Глен (US)

Изобретение предназначено для систем, использующих сверхчистый технологический материал (например, в производстве полупроводников). В процессе изготовления Кориолисова расходомера из пластика по меньшей мере одну расходомерную трубку с прикрепленными к ней приводом и датчиками соединяют с основанием. Впускной и выпускной концы расходомерной трубки прикрепляют к технологическим соединениям, которые...

Изобретение предназначено для измерения технологического материала, используемого при производстве полупроводниковых пластин для микросхем. Расходомер содержит по меньшей мере одну измерительную трубу, присоединенную концевыми частями к стойкам на верхней поверхности массивного основания в виде параллелепипеда для образования по существу неподвижных узлов на концевых частях. Весь смачиваемый путь...

Изобретение относится к изготовлению расходомеров на основе эффекта Кориолиса. Расходомерную трубку из фторполимера (перфторалкоксиэтилена PFA, политетрафторэтилена PTFE) размещают в двух отверстиях, выполненных в соответствующих ветвях основания соосно друг другу. В зазоры между трубкой и внутренней поверхностью отверстий вводят связующее (цианоакрилатный клей) для прикрепления расходомерной труб...

Способ проверки достоверности калибровочного расходного коэффициента расходомера включает определение начальной изгибной жесткости расходомерной трубки, текущей изгибной жесткости расходомерной трубки и сравнение начальной изгибной жесткости с текущей изгибной жесткостью, по результату которого выявляют режим ошибки калибровки. Дополнительно сигнализируют о режиме ошибки калибровки и осуществляют...