Быкова Людмила Юлиановна (RU)

Изобретение относится к технике групповой обработки плоских стеклянных подложек и может быть использовано при производстве изделий электронной техники. Техническим результатом изобретения является повышение качества обработки, обеспечение автоматизации процесса в гибком производстве, упрощение конструкции. Сущность изобретения: способ отмывки и сушки плоских стеклянных подложек заключается в том,...