УИЛЕР Мэттью Дж. (US)

Изобретение предназначено для использования в системах управления потоком жидкости в сверхчистых и коррозионных применениях. Система (100) управления потоком включает по существу жесткий сосуд (110) с резервуаром для обрабатываемой жидкости (112), расположенным в жестком сосуде (110) и находящимся в жидкостном соединении с выходом (116). Подвижный элемент (120) и/или рабочая жидкость расположена в...