Еремин Станислав Евгеньевич (RU)

Изобретение относится к области спектрометрии заряженных частиц и может быть использовано для измерения зарядового и массового состава плазмы. Способ реализуется путем погружения трубы дрейфа в плазму, последующего ускорения ионов за счет подачи на трубу дрейфа импульса напряжения отрицательной полярности длительностью, меньшей времени пролета в трубе дрейфа ускоренных ионов анализируемой плазмы с...

Изобретение относится к плазменным технологиям нанесения пленочных покрытий и предназначено для очистки плазменного потока дуговых испарителей от микрокапельной фракции. Устройство содержит корпус 1, установленную в нем жалюзийную систему вложенных коаксиальных электродов 4, перекрывающих апертуру вакуумно-дугового испарителя, электрически соединенных между собой последовательно и встречно и под...