УИКЛУНД Дэвид Э. (US)

Изобретение предназначено для регулирования расхода текучей среды высокой степени чистоты при производстве полупроводниковых устройств. Между входом и выходом корпуса установлен ограничитель потока, выполненный из пористого материала (пористый кремний). Первый и второй мультисенсоры имеют сенсорные поверхности на входе и выходе, посредством которых определяют давление и температуру потока. Схема,...

Изобретение относится к средствам управления технологическими процессами, в частности к датчику технологического параметра. Технический результат заключается в повышении надежности диагностики работы датчика технологического параметра. Он достигается тем, что предложен датчик технологического параметра для соединения с технологическим процессом и передачи индикации параметра технологического проц...

Способ определения информации о конфигурации для расходомера технологического флюида содержит этапы, на которых принимают выбор технологического флюида, предоставляют, по меньшей мере, одно выбираемое свойство флюида относительно выбранного технологического флюида и принимают, по меньшей мере, один выбор свойства технологического флюида, принимают информацию относительно первичного элемента. Прич...

Устройство регулирования потока технологического флюида включает в себя модуль энергоснабжения, схему технологической связи, процессор и измерительную схему. Схема технологической связи соединена с модулем энергоснабжения и процессором. Измерительная схема оперативно связана с множеством датчиков технологических параметров для получения индикации дифференциального давления, статического давления...