Устройство регулирования расхода с мультисенсорами

Устройство регулирования расхода с мультисенсорами

Иллюстрации

Показать все

Реферат

Область техники, к которой относится изобретение

Настоящее изобретение относится к устройствам, предназначенным для регулирования расхода текучей среды. В частности, изобретение относится к регулированию расхода текучей среды высокой степени чистоты при производстве полупроводниковых устройств.

Предшествующий уровень техники

Устройства типа регуляторов массового расхода, датчиков давления и датчиков температуры используются при производстве полупроводниковых устройств, таких как микропроцессоры и специализированные интегральные микросхемы (ASIC). Эти устройства включают сенсоры для измерения и регулирования расхода различных текучих сред в процессах производства полупроводников. Изготовление гидравлических соединений с множеством отдельных сенсоров является трудоемким, ведет к увеличению количества гидравлических затворов вокруг сенсоров и повышению вероятности протечек текучей среды и/или ошибок из-за различий в режиме процесса различных сенсоров. Требуется способ, позволяющий упростить установку устройства и уменьшить количество сенсорных соединений.

Краткое изложение существа изобретения

Изобретение касается устройства и способа регулирования расхода текучей среды. Устройство содержит корпус для пропускания потока, который имеет вход, выход и ограничитель потока, который связывает поток текучей среды между входом и выходом.

Устройство содержит первый мультисенсор, имеющий первую сенсорную поверхность на входе, которая воспринимает давление и температуру текучей среды. Устройство содержит также второй мультисенсор, имеющий вторую сенсорную поверхность на выходе, которая воспринимает давление и температуру текучей среды.

Первый и второй мультисенсоры связаны со схемой устройства. Схема генерирует выходной сигнал расхода текучей среды, основанный на выходных сигналах первого и второго мультисенсоров. Выходной сигнал расхода текучей среды включает в себя поправку на температуру как функцию по меньшей мере одной из температур, измеренных на входе и выходе.

Краткое описание чертежей

Эти и другие признаки и преимущества настоящего изобретения станут очевидны из приведенного подробного описания со ссылками на сопровождающие чертежи, на которых:

фиг.1 изображает схему первого варианта реализации устройства измерения потока текучей среды, согласно изобретению;

фиг.2 - схему варианта реализации мультисенсора, согласно изобретению;

фиг.3 - вариант реализации несущей пластины мультисенсора, согласно изобретению;

фиг.4 - схему первого варианта реализации устройства регулирования расхода текучей среды, которое содержит клапан, согласно изобретению.

Подробное описание предпочтительных вариантов реализации изобретения

В описанных ниже вариантах реализации раскрыты способ и устройство для измерения потока текучей среды. Устройство содержит входной мультисенсор и выходной мультисенсор, каждый из которых воспринимает давление и температуру на обоих концах ограничителя потока, который пропускает поток текучей среды. Каждый мультисенсор включает сенсор давления и сенсор температуры, расположенные на общей сенсорной поверхности. Сенсорная поверхность погружена в поток текучей среды, и воспринимаемая температура является как температурой текущей текучей среды, так и температурой сенсора давления. Воспринимаемые температуры могут использоваться для поправки на температуру на сенсоре давления, а также для получения показателя температуры для расчета массового расхода. Количество трубных и электрических соединений уменьшается за счет использования мультисенсоров и передачи многих функций одному устройству для упрощения монтажа.

В вариантах реализации, раскрытых ниже, устройство, которое воспринимает поток чистых текучих сред (газа или жидкости), дает точные результаты без необходимости снижения давления на выходе до атмосферного давления (калибровка с открытым выходом или выхлопом из устройства), не требует, чтобы газы находились в условиях калибровки (определенное давление, температура или плотности как условия калибровки), и не требует обходного механизма, в котором поток пропорционально разделяется между основным потоком и измеряемым потоком. В описанных ниже вариантах устройства смачиваемым материалом мультисенсора является сапфир для обеспечения коррозионной стойкости и совместимости с самыми различными текучими средами. В приведенных вариантах воплощения датчик не требует изолирующей среды, такой как силиконовое масло или Fluorinert, поэтому отсутствует опасность загрязнения чистой технологической текучей среды изолирующей текучей средой даже в условиях отказа при механическом повреждении мультисенсора.

На фиг.1 представлен первый вариант воплощения устройства 100 измерения потока текучей среды, который может использоваться для измерения потока 102 текучей среды. Устройство 100 содержит корпус 104, имеющий вход 106, выход 108 и ограничитель 110 расхода, который связывает поток 102 текучей среды между входом 106 и выходом 108. Ограничителем 110 потока предпочтительно является цилиндрическая масса пористого материала со множеством пор. Вход 106 и выход 108 предпочтительно содержат резьбовые фитинги 112, 114, например фитинги Swagelock VCO, для удобства присоединения труб для текучей среды. Устройство 100 может использоваться на предприятии для подачи точно отмеренных потоков с очень небольшими количествами чистых текучих сред для изготовления полупроводниковых устройств.

Устройство 100 содержит первый мультисенсор 120, имеющий первую сенсорную поверхность 122 на входе 106. Первая сенсорная поверхность 122 воспринимает давление Р1 и температуру Т1 потока текучей среды 102 на входе 106. Устройство 100 содержит второй мультисенсор 124, имеющий вторую сенсорную поверхность 126 на выходе 108. Вторая сенсорная поверхность 126 воспринимает давление Р2 и температуру Т2 потока текучей среды 102 на входе 108.

Ограничитель 110 потока обеспечивает падение давления, которое называют также перепадом давления (Р1-Р2), в потоке текучей среды 102 между входом 106 и выходом 108.

Первый и второй мультисенсоры 120, 124 соединены со схемой 130 в устройстве 100. Схема 130 предпочтительно генерирует выходной сигнал расхода текучей среды на линии 155 на основе перепада (Р1-Р2) давлений Р1 на входе 106 и давления Р2 на выходе 108. Выходной сигнал расхода текучей среды на линии 155 содержит поправку на температуру как функцию по меньшей мере одной из измеренных температур T1, T2 на входе 106 и выходе 108 соответственно, причем выходной сигнал расхода текучей среды предпочтительно представляет собой массовый расход. В предпочтительном варианте реализации схема 130 может программироваться для обеспечения требуемой функции в каждой области применения. Функциональные алгоритмы могут быть выбраны (из программ, хранящихся в схеме 130) посредством команд, полученных на линии 155 или путем загрузки прикладной программы с линии 155 в схему 130 и записи прикладной программы в энергонезависимую память в схеме 130.

Вход 106 герметизирован и отделен от схемы 130 несущей пластиной 132 мультисенсора. В несущей пластине 132 мультисенсора выполнено первое отверстие 134. Первый мультисенсор 120 имеет центральную шейную часть, размещенную в первом отверстии 134, и выходную токоотводящую часть 138 снаружи входа 106. Центральная шейная часть предпочтительно припаяна к первому отверстию 134. Такое решение обеспечивает надежную изоляцию текучей среды, так что текущая текучая среда 102 не вступает в контакт и не вызывает коррозию проводов 140, соединенных с токоотводящей частью 138 и схемой 130.

Выход 108 герметизирован и отделен от схемы 130 несущей пластиной 132 мультисенсора. В пластине 132 мультисенсора выполнено второе отверстие 144. Первый мультисенсор 124 имеет центральную шейную часть, размещенную во втором отверстии 144, и выходную токоотводящую часть 148 снаружи входа 108. Центральная шейная часть предпочтительно припаяна к первому отверстию 144. Такое решение обеспечивает надежную изоляцию текучей среды, так что текущая текучая среда 102 не вступает в контакт и не вызывает коррозию проводов 150, соединенных с токоотводящей частью 148 и схемой 130.

Еще в одном предпочтительном варианте реализации первый и второй мультисенсоры 120, 124 имеют соответствующие первый и второй центральные сенсорные стержни 136, 146, проходящие от соответствующих первой и второй сенсорных поверхностей 122, 126 до первого и второго электрических соединительных концов 138, 140. Пластина 132 мультисенсора содержит первое и второе сквозные отверстия 134, 144, к которым припаяны соответствующие первый и второй центральные сенсорные стержни 136, 146, и обеспечивает изоляцию текучей среды от первого и второго концов электрического соединения.

Мультисенсоры 120, 124 (фиг.1) обеспечивают измерение четырех характеристик текучей среды - давления P1, P2 и температуры T1, T2, только двумя сенсорными стержнями 136, 146.

В устройстве 100 используется только одно входное соединение 112 и одно выходное соединение 114 для измерений четырех характеристик текучей среды. Использование мультисенсоров 120, 124 обеспечивает получение очень компактной опорной поверхности корпуса 104 устройства 100. В предпочтительном варианте корпус 104 имеет длину «А» между входными фитингами не более 106 мм и ширину, поперечную относительно длины, не более 38 мм. Всего «опорная поверхность» устройства регулирования расхода (без резьбовых фитингов) предпочтительно составляет около 38×106 мм.

В предпочтительном варианте реализации схема 130 также генерирует на линии 155 выходные сигналы абсолютного давления AP1, AP2 как функцию давлений P1, P2, измеренных соответственно на входе и выходе. В другом предпочтительном варианте реализации схема 130 генерирует также на линии 155 выходной сигнал температуры Т как функцию одного или обоих показателей температуры Т1, Т2. Выходным сигналом температуры может быть Т1, Т2, среднее для Т1 и Т2, разность между Т1 и Т2 или соотношение Т1/Т2, в зависимости от требований при использовании. Схема 130 предпочтительно содержит вычислительную схему 152, которая вычисляет выходные сигналы РАСХОД, Т, AP1, AP2 и выдает сигналы на модем 154, который передает все выходные сигналы на одну последовательную линию 155 шины согласно стандартному промышленному протоколу связи, например, HART, PROFIBUS, FOUNDATION FIELDBUS, CONTROLLER AREA NETWORK (CAN) или Другой стандартный протокол связи. В предпочтительном варианте реализации последовательная линия 155 шины предпочтительно содержит двухжильный промышленный стандартный контур 4-20 мА, который обеспечивает все электропитание устройства регулирования расхода текучей среды и содержит биполярные последовательные коммуникационные сигналы HART, наложенные на ток 4-20 мА в контуре. Еще в одном предпочтительном варианте реализации схема скомпонована таким образом, чтобы иметь взрывобезопасный интерфейс для двухжильного контура 4-20 мА, а схема 130 и ее соединения с мультисенсорами 120, 124 помещены во взрывобезопасный корпус. В некоторых случаях предусмотрены также несколько аналоговых выводов.

В предпочтительном варианте реализации размеры ограничителя 110 могут быть выбраны таким образом, что поток 102 текучей среды, проходящий через ограничитель 110, является ламинарным потоком. Такое решение с использованием ламинарного потока обеспечивает прямую зависимость между падением давления (Р1-Р2) и массовым расходом потока 102. Это позволяет избежать трудностей калибровки и использования расходомеров, выражающих зависимость в форме квадратного корня между падением давления и расходом. Ограничитель 110 давления предпочтительно содержит массу пористого материала, такого как силикон или металл. Конкретный материал для ограничителя 110 потока выбирают, исходя из совместимости между текучей средой и множеством пор.

Могут быть использованы различные конфигурации устройства 100 в зависимости от того, является ли текучая среда жидкостью или газом, а также сопряжения труб и электрических цепей. В предпочтительном варианте реализации скорость текучей среды в массе пористого материала 110 подбирают таким образом, чтобы она оказалась в диапазоне скоростей, при котором выходной сигнал расхода текучей среды на линии 155 является функцией давления на входе и, по существу, не зависит от давления на выходе. В другом предпочтительном варианте реализации устройство 100 имеет выходной сигнал массового расхода на линии 155, находящийся, по существу, в прямой зависимости от давления на входе. И еще в одном предпочтительном варианте реализации поток текучей среды в массе пористого материала 110 является ламинарным потоком. Выходной сигнал расхода текучей среды на линии 155 может быть функцией разности между давлением на входе Р1 и давлением на выходе Р2.

В предпочтительном варианте реализации схема 155 может быть запрограммирована на выдачу на линию 155 одного или нескольких выходных сигналов, выбранных из группы переменных показателей давления, температуры и расхода текучей среды.

Пример выполнения мультисенсора описан ниже со ссылкой на фиг.2.

Мультисенсор 170 содержит первый слой 172 и второй слой 174, которые образованы коррозионно-стойким, электроизолирующим материалом, таким как синтетический монокристаллический глинозем (сапфир) или кварц. На фиг.2 показаны внутренние поверхности первого слоя 172 и второго слоя 174. Задние (наружные) стороны первого и второго слоя 172 (на фиг.2 скрыты) являются наружными для мультисенсора в сборе 170 и предпочтительно являются плоскими.

Мультисенсор 170 имеет вытянутую форму и проходит от входного участка 176 через шейный участок 178 к участку 180 вывода. Шейный участок 178, который называют также центральным сенсорным стержнем 178, предпочтительно металлизирован снаружи (как показано, например, на фиг.3) для припаивания к несущей пластине 132 мультисенсора (более подробно пояснено ниже). Плоские задние поверхности (не показаны) на сенсорном участке 176 содержат сенсорные поверхности, противоположные датчику 182 температуры и емкостному датчику давления, содержащему металлические обкладки конденсатора, называемые также электродами 184, 186. Меза или приподнятая часть 190 (графически показанная точками на фиг.2) окружает обкладку 186 конденсатора и датчик температуры 182. Обкладка 186 конденсатора и датчик 182 температуры расположены в неглубокой полости 192 и окружены плоской приподнятой поверхностью 190. Расположение приподнятой части 190 и неглубокой полости 192 обеспечивает просвет между обкладками 184 и 186 конденсатора, когда два слоя 172, 174 связаны вместе.

Датчик 182 температуры электрически соединен выводами 194, 196 с контактными площадками 198, 200 выводов на участке 180 вывода. Выводы 194, 196 пропущены через шейный участок 178.

Два слоя 172, 174 связаны между собой предпочтительно посредством связи между полированными поверхностями сапфира приподнятой поверхности 190 и слоем 172. Непосредственная связь является предпочтительной, поскольку для соединения слоев 172, 174 между собой не требуется никакого связующего материала и вся наружная поверхность сенсора 170 на участке 176 образована сапфиром, который противостоит коррозии многих текучих сред, применяемых при производстве полупроводников. Открытая сапфировая сенсорная поверхность может находиться в непосредственном контакте с текучей средой, причем не требуется добавления никакой изолирующей текучей среды и изолирующей диафрагмы. После соединения двух слоев 172, 174 между собой возможно наложение фритты на кромку 216 для герметизации вакуума полости 192, так что мультисенсор воспринимает абсолютное давление (АР).

Мультисенсор 170 содержит обкладки конденсатора 184, 186, которые отведены друг от друга, образуя емкостный датчик давления. Давление среды, окружающей сенсорный участок 176, отклоняет слои 172, 174 на сенсорном участке для эффективного изменения просвета между обкладками конденсатора 184, 186 и варьирования емкости в зависимости от измеряемого давления. Сенсорный участок 176 погружен в текучую среду, так что датчик 182 температуры воспринимает температуру как текучей среды, так и датчика давления. В предпочтительном варианте реализации датчик 182 температуры воспринимает температуру мультисенсора 170 и температуру окружающей текучей среды и используется в схеме 130 для поправки на температуру выходного сигнала емкостного датчика давления, а также для поправки на температуру расчета массового расхода.

Наружная сенсорная поверхность мультисенсора 170 является сапфировой и находится в непосредственном контакте с текучей средой. Слои 172, 174 образуют сапфировую оболочку мультисенсора с емкостным датчиком давления и датчиком температуры, выполненными внутри сапфировой оболочки мультисенсора. Датчик 182 температуры и емкостный датчик температуры находятся внутри оболочки и защищены от контакта с текучей средой. Текучая среда сапфировой оболочки мультисенсора изолирует датчик давления и датчик температуры от текучей среды.

В предпочтительном варианте реализации мультисенсор 170 рассчитан на давление с верхним пределом 100 фунт/кв. дюйм и обеспечивает хорошее сочетание прочности и точности для типичных диапазонов при чистой текучей среде на предприятиях по производству полупроводников.

На фиг.3 показана предпочтительная установка мультисенсора 250 (120 или 124) на несущей пластине 132 мультисенсора. Мультисенсор 250 содержит в себе металлизованный шейный участок 254 с пригодной к пайке поверхностью предпочтительно в форме электролитического покрытия из никеля. Пластина 256 для снятия напряжений, предпочтительно выполненная из изготовленного методом гальванопластики листового металла, припаивается к шейному участку 254 круговым паяным соединением 258. Выполненную из изготовленного методом гальванопластики листового металла пластину 256 для снятия напряжений приваривают к несущей пластине 132 мультисенсора круговым сварным швом 260. Такое решение обеспечивает герметизацию текучей среды, так что находящаяся под давлением Р текучая среда 262 может достичь сенсорной поверхности 264, в то время как выводы 266 изолированы от текучей среды 262 пластиной 132 мультисенсора.

На фиг.4 показан второй вариант реализации устройства 300 измерения потока текучей среды, которое содержит клапан 302. Устройство 300 измерения потока текучей среды во многих отношениях аналогично устройству 100 (фиг.1), однако устройство 300 содержит клапан 302 с электрическим управлением и модифицированную схему 304, которая управляет клапаном 302 для регулирования расхода в зависимости от выданного сигнала РАСХОД. Схема 304 образует замкнутый контур управления, полностью расположенный в устройстве 300.

Схема 304 получает уставку 308 расхода текучей среды, которую выбирает пользователь. Уставка 308 может устанавливаться вручную или путем подачи электрического входного сигнала, поступающего из системы управления, который указывает нужное значение расхода в данной области применения. Схема 304 содержит точку 310 суммирования, которая сравнивает заданное значение 308 расхода текучей среды с измеренным значением 312 расхода текучей среды, и выдает сигнал 314 разности (который называется также сигналом погрешности). Вычислительная схема 152 управляет открыванием клапана 302 в зависимости от сигнала 314 разности путем регулирования расхода текучей среды 102 на выходе клапана 316.

Клапан 302 соединен с корпусом для приема текучей среды с выхода 108. Схема 304 действует как управляющая схема, которая пропускает электрический сигнал на клапан 302 и управляет расходом текучей среды на основе выходного сигнала расхода и уставки расхода 308. Алгоритмом управления открыванием клапана 302 может быть любая комбинация пропорциональных, интегральных и производных сигналов регулирования, которые обычно называются П, ПИ, ПД, ПИД регулированием.

Схема, показанная на фиг.4, имеет только два резьбовых соединения с трубопроводом пользователя на входе 106 и выходе клапана 316. Схема предпочтительно обеспечивает определение расхода текучей среды, определение давления на входе и выходе, определение температуры текучей среды и регулирование расхода в одном компактном блоке.

В предпочтительном варианте воплощения уставка 308 (которая является входным сигналом) и выходные сигналы Т, AP1, AP2, РАСХОД все расположены на одной последовательной линии шины в стандартном промышленном протоколе связи, таком как HART, PROFIBUS, FOUNDATION FIELDBUS, CONTROLLER AREA NETWORK (CAN), или в другом стандартном последовательном протоколе связи. В предпочтительном варианте реализации последовательная линия предпочтительно содержит двухжильный контур 4-20 мА, который обеспечивает все электропитание устройства регулирования расхода текучей среды и содержит биполярные последовательные коммуникационные сигналы HART, наложенные на ток 4-20 мА в контуре. Еще в одном предпочтительном варианте решения схема 304 скомпонована таким образом, что имеет взрывобезопасный интерфейс для двухжильного контура 4-20 мА, а схема 304 и ее соединения с мультисенсорами 120, 124 помещены во взрывобезопасный корпус. В некоторых вариантах предусмотрены также несколько аналоговых выводов.

Многочисленные характеристики и преимущества различных вариантов реализации изобретения, изложенные в описании, служат исключительно для иллюстративных целей.

1. Устройство (100) для измерения параметров потока (102) текучей среды, содержащее

корпус (104), содержащий вход (106), выход (109) и ограничитель (110) потока, который связывает поток текучей среды между входом и выходом, первый мультисенсор (120), имеющий первую сенсорную поверхность (122), которая воспринимает давление и температуру,

второй мультисенсор (124), имеющий вторую сенсорную поверхность (126), которая воспринимает давление и температуру, и

схему (130), с которой соединены первый и второй мультисенсоры и которая генерирует выходной сигнал (155) расхода текучей среды на основе выходных сигналов первого и второго мультисенсоров, причем выходной сигнал расхода текучей среды включает поправку на температуру,

отличающееся тем, что первая сенсорная поверхность расположена на входе корпуса, а вторая сенсорная поверхность расположена на выходе корпуса, при этом первая сенсорная поверхность предназначена для определения температуры и давления на входе, а вторая сенсорная поверхность предназначена для определения температуры и давления на выходе, а поправка на температуру является функцией по меньшей мере одной из температур на входе и выходе.

2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что ограничитель потока содержит пористый материал, связывающий поток, протекающий от входа к выходу.

3. Устройство по п.2, отличающееся тем, что скорость текучей среды в пористом материале находится в диапазоне скоростей, при котором выходной сигнал расхода текучей среды на линии является функцией давления на входе, и по существу не зависит от давления на выходе.

4. Устройство по п.3, отличающееся тем, что выходной сигнал расхода является по существу линейной функцией давления на входе.

5. Устройство по п.3, отличающееся тем, что поток текучей среды в пористом материале является ламинарным потоком.

6. Устройство по п.1, отличающееся тем, что выходной сигнал расхода текучей среды является функцией давления на входе и давления на выходе.

7. Устройство по п.6, отличающееся тем, что выходной сигнал расхода текучей среды является функцией разности давления на входе и давления на выходе.

8. Устройство по п.1, отличающееся тем, что схема генерирует несколько выходных сигналов, выбранных из группы переменных величин давления, температуры и расхода текучей среды.

9. Устройство по п.1, отличающееся тем, что схема генерирует выходной сигнал температуры.

10. Устройство по п.1, отличающееся тем, что первый и второй мультисенсоры имеют соответствующие первый и второй центральные сенсорные стержни (178), проходящие от соответствующих первой и второй сенсорных поверхностей (176) к соответствующим первому и второму концам участка (180) вывода электрических соединений, причем устройство дополнительно содержит несущую пластину (132) мультисенсора, имеющую первое и второе сквозные отверстия, которые герметизированы первым и вторым центральными сенсорными стержнями, обеспечивающими изоляцию между текучей средой и первым и вторым концами электрических соединений.

11. Устройство по п.1, отличающееся тем, что первая сенсорная поверхность содержит сапфир.

12. Устройство по п.11, отличающееся тем, что вторая сенсорная поверхность содержит сапфир.

13. Устройство по п.1, отличающееся тем, что первая и вторая сенсорные поверхности находятся в непосредственном контакте с потоком текучей среды.

14. Устройство по п.1, отличающееся тем, что первый и второй мультисенсоры каждый содержит сапфировую оболочку с емкостным датчиком давления и датчиком температуры, выполненными внутри сапфировой оболочки мультисенсора.

15. Устройство по п.14, отличающееся тем, что сапфировая оболочка мультисенсора изолирует датчик давления и датчик температуры от текучей среды.

16. Устройство по п.14, отличающееся тем, что датчик температуры предназначен для определения температуры текучей среды и температуры датчика давления.

17. Устройство по п.1, отличающееся тем, что первый и второй мультисенсоры предназначены для определения абсолютного значения давления.

18. Устройство по п.1, отличающееся тем, что ограничитель потока содержит пористый металл с множеством пор.

19. Устройство по п.17, отличающееся тем, что ограничитель потока содержит пористый кремний с множеством пор.

20. Устройство по п.1, отличающееся тем, что дополнительно содержит клапан 302, соединенный с корпусом, при этом схема (130) дополнительно является схемой (304) управления, соединена с клапаном и предназначена для регулирования расхода текучей среды в зависимости от расхода текучей среды на выходе и уставки расхода.

21. Устройство по п.20, отличающееся тем, что схема управления обеспечивает управление клапаном по алгоритму пропорционального регулирования.

22. Устройство по п.20, отличающееся тем, что схема управления обеспечивает управление клапаном по алгоритму пропорционально-интегрального регулирования.

23. Устройство по п.20, отличающееся тем, что схема управления обеспечивает управление клапаном по алгоритму пропорционально-интегрально-дифференциального регулирования.

24. Устройство по п.20, отличающееся тем, что схема управления обеспечивает управление клапаном по алгоритму пропорционально-дифференциального регулирования.

25. Устройство по п.20, отличающееся тем, что корпус имеет длину между входными фитингами не более около 106 мм.

26. Устройство по п.25, отличающееся тем, что корпус имеет ширину, поперечную относительно длины, не более 28 мм.

27. Способ регулирования расхода текучей среды (102), протекающей через устройство (100), заключающийся в том, что

пропускают поток текучей среды от входа (106) к выходу (108) корпуса через ограничитель потока (110),

определяют давление и температуру текучей среды первым мультисенсором (120),

определяют давление и температуру текучей среды вторым мультисенсором (124),

подключают первый и второй мультисенсоры к схеме (130), генерирующей выходной сигнал (155) расхода текучей среды,

формируют выходной сигнал расхода текучей среды на основе давления, выбранного из группы, состоящей из давления на входе и давления на выходе, причем выходной сигнал расхода текучей среды включает поправку на температуру,

отличающийся тем, что располагают первую сенсорную поверхность (122) первого мультисенсора на входе корпуса для определения температуры и давления на входе, располагают вторую сенсорную поверхность (126) второго мультисенсора на выходе корпуса для определения температуры и давления на выходе, причем поправка на температуру является функцией по меньшей мере одной из измеренных температур на входе и на выходе.

28. Способ по п.27, отличающийся тем, что формируют ограничитель потока из пористого материала.

29. Способ по п.28, отличающийся тем, что осуществляют выбор пористого материала с таким размером пор, при котором скорость текучей среды в пористом материале находится в таком диапазоне скоростей, при котором выходной сигнал расхода текучей среды является функцией давления на входе и по существу не зависит от давления на выходе.

30. Способ по п.29, отличающийся тем, что выходной сигнал расхода текучей среды является, по существу, линейной функцией давления на входе.