Кириенко Виктор Владимирович (RU)

Изобретение может быть использовано в микро- и наноэлектронике для производства радиационностойких интегральных схем, датчиков и устройств микроэлектромеханических систем на изолирующих подложках. Сущность изобретения: при получении структуры "кремний-на-изоляторе" пластину монокристаллического кремния р-типа проводимости подвергают анодному травлению в растворе электролитов, содержащем ионы водор...

Изобретение относится к медицинской технике. Датчик пульсовой волны содержит кремниевую микроканальную мембрану (1) с диэлектрическим слоем (2) на поверхности, камеру (5), упругие мембраны (6), электроды (3). Камера заполнена рабочей жидкостью (8) и соединена с возможностью формирования внутренних полостей камеры и перемещения рабочей жидкости (8) между внутренними полостями камеры с кремниевой ми...