Чеюков Максим Николаевич (RU)

Изобретатель Чеюков Максим Николаевич (RU) является автором следующих патентов:

Способ получения структуры "кремний-на-изоляторе"

Изобретение может быть использовано в микро- и наноэлектронике для производства радиационностойких интегральных схем, датчиков и устройств микроэлектромеханических систем на изолирующих подложках. Сущность изобретения: при получении структуры "кремний-на-изоляторе" пластину монокристаллического кремния р-типа проводимости подвергают анодному травлению в растворе электролитов, содержащем ионы водор...

2331949