Яновский Владимир Павлович (RU)

Изобретение относится к запорной аппаратуре и предназначено для использования в многокамерных установках молекулярно-лучевой эпитаксии, напылительных установках и других технологических системах, где для обеспечения технологического цикла необходим перенос пластинчатых изделий или кассет с подложками из одного вакуумного объема в другой. Вакуумный щелевой клапан содержит корпус с проходными соосны...

Изобретение относится к технике формирования ионных пучков с широкой апертурой пучка ионов, а именно к источникам ионов на основе основного и вспомогательного разрядов. Широкоапертурный источник газовых ионов содержит средства для формирования основного объемного разряда, включающие полый катод и анод, выполненный в виде сетки, и средства формирования, по крайней мере, одного вспомогательного разр...