ХЕБЕРЕР Штефан (DE)

Изобретение может применяться в химической технологии и электронике. Агрегированный кристаллический порошкообразный кремний, обладающий площадью поверхности БЭТ в диапазоне от 100 до 700 м2/г, получают при непрерывной подаче по меньшей мере одного парообразного или газообразного силана и необязательно по меньшей мере одного парообразного или газообразного легирующего вещества и инертного газа в ре...