МАЙЛЗ Марк В. (US)

Изобретение относится к оптическим устройствам, в частности, к микрооптическим электромеханическим устройствам и к способу их изготовления. Способ включает определение той области подложки, которая должна быть светопоглощающей; и изготовление светопоглощающей маски на этой определенной области перед изготовлением упомянутого, по меньшей мере, одного оптического компонента. Оптическое устройство со...

Устройства МЭМС изготавливают следующим образом. Берут подложку. Наносят на нее электродный слой. Наносят поверх электродного слоя временный слой. Формируют во временном слое рельеф с образованием отверстий. Наносят поверх временного слоя подвижный слой. Формируют поддерживающие структуры, расположенные над подвижным слоем и по меньшей мере частично в отверстиях в временном слое. Между по меньшей...