Реутов В.Ф.

 1. Способ изготовления тонких пластин кремния, включающий их отделение от слитка путем формирования поверхности скола, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности и воспроизводимости изготовления, поверхность скола формируют облучением слитка потоком легких ионов преимущественно водорода, дейтерия, гелия и нагревом слитка. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что слиток обл...

 Изобретение относится к области исследований и анализа материалов путем определения их физических свойств, а именно для исследования параметров каналов нанометрических размеров в трековых мембранах, и может быть использовано при изготовлении объектов из трековых мембран для анализа с помощью просвечивающей электронной микроскопии. Сущность изобретения: создают металлический контактный сло...

 Изобретение относится к области микротехнологии, а именно к созданию способа получения монокристаллической структуры сложной геометрической формы, и может быть использовано в микромеханике и микроинженерии. Способ включает в себя гальваническое осаждение металла в каналы шаблона в виде трековой мембраны с напыленным на одну из ее поверхностей металлическим слоем. Электрохимическую ячейку...

 Использование: для приготовления образцов из полупроводников и диэлектриков для просвечивающей электронной микроскопии. Сущность изобретения: на одну из поверхностей образца, погруженного в химический реактив, воздействуют струей реактива, что приводит к его утонению, и на конечной стадии утонения в момент появления микроотверстия в утоненном участке образца блокируют обрабатываемую повер...

 Изобретение относится к области электроэрозионной обработки, а именно к стержневым электродам специального назначения, и может быть использовано в различных отраслях электронного машиностроения при формировании дискретных зон легирования высокотемпературных сверхпроводников и нанесении металлических нанокластеров на поверхности полупроводников и диэлектриков, а также модификации свойств т...

 Изобретение относится к области легирования твердых тел путем облучения ионами фазообразующих элементов и может быть использовано для ионной модификации структуры и физико-механических свойств металлов, полупроводников и сверхпроводников. Сущность способа ионного легирования твердых тел заключается в том, что одновременно или последовательно облучают объекты ионами инертного газа и ионами...

 Изобретение относится к области электронно-микроскопических исследований реальной микроструктуры твердых тел и может быть использовано для приготовления объектов из электропроводящих материалов для просвечивающей электронной микроскопии (ПЭМ). В изобретении на одну из поверхностей образца, погруженного в электролит, действует регулируемая по частоте и амплитуде пульсирующая струя электрол...