Способ изготовления тонких пластин кремния

Способ изготовления тонких пластин кремния

Реферат

 

1. Способ изготовления тонких пластин кремния, включающий их отделение от слитка путем формирования поверхности скола, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности и воспроизводимости изготовления, поверхность скола формируют облучением слитка потоком легких ионов преимущественно водорода, дейтерия, гелия и нагревом слитка.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что слиток облучают дозами по крайней мере 10¹⁷ см^-2 при комнатной температуре.

3. Способ по п.1, отличающийся тем, что слиток облучают дозами по крайней мере 10¹⁶ см^-2 при температуре не менее 700 К.

4. Способ по п.1, отличающийся тем, что слиток облучают дозами по крайней мере 10¹⁵ см^-2 при температуре послерадиационного отжига не менее 840 К.