ШПАХЛИНГЕР Гюнтер (DE)

Изобретение относится к регулированию физической переменной в динамической системе с приведением этой переменной к одному заданному значению или к значениям, изменяющимся по заданному закону. Способ регулирования заключается в том, что используют импульсный модулятор, который генерирует последовательность дискретно модулированных сигналов, которые и осуществляют указанное регулирование физическо...

Изобретение относится к микроэлектромеханическим датчикам, используемым в качестве кориолисовых гироскопов. Датчик (30) содержит по меньшей мере один подвижный электрод (29), электродную систему (311-314), отстоящую на некотором расстоянии от электрода (29) и содержащую электроды, выполненные с возможностью раздельного управления и подачи на них соответствующих электродных сигналов (uo1, uo2, uu1...

Изобретение относится к способу эксплуатации емкостного микроэлектромеханического датчика. Датчик содержит по меньшей мере один дифференциальный конденсатор, образованный двумя неподвижными электродами, между которыми упруго подвешен с возможностью смещения под действием внешней силы, которое может быть измерено, и подвижный центральный электрод. Способ эксплуатации емкостного датчика, согласно к...

Датчик скорости вращения содержит подложку и две структуры (100, 200, 300, 400, 500, 600), выполненные с возможностью перемещения относительно подложки на рабочей плоскости (х-y). Две подвижные структуры (100, 200, 300, 400, 500, 600) соединены, чтобы формировать связанную структуру, такую, что она имеет первую моду колебаний с отклонениями в противофазе подвижных структур в первом направлении (х...

Использование: для создания микромеханического компонента. Сущность изобретения заключается в том, что способ изготовления микроэлектромеханического компонента включает этап изготовления композита первого слоя, содержащего структурированный слой, который является электропроводящим по меньшей мере на первом участке, и канавку, заполненную изолирующим материалом, которая проходит в наружном направле...

Использование: для создания микромеханического компонента. Сущность изобретения заключается в том, что микромеханический компонент включает в себя подложку и активную структуру, которая выполнена с возможностью отклонения относительно подложки по меньшей мере в одном направлении и которая имеет по меньшей мере один первый участок и второй участок, причем первый участок и второй участок электропров...