Васильев Валерий Анатольевич (RU)

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для измерения давления в условиях воздействия нестационарных температур (термоудара) измеряемой среды. Техническим результатом изобретения является повышение точности измерения давления в условиях воздействия термоудара при сохранении чувствительности. Термоустойчивый тонкопленочный тензорезисторный датчик давления с...

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения давления в условиях нестационарных температур (термоудара) измеряемой среды. Техническим результатом изобретения является повышение точности измерения давления в условиях воздействия термоудара за счет улучшения линейности и уменьшения влияния температурных деформаций мембраны на выходной сигнал измерительного м...

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам, предназначенным для использования в различных областях науки и техники, связанных с измерением давления в условиях воздействия нестационарных температур и повышенных виброускорений. Техническим результатом изобретения является уменьшение погрешности измерения в условиях воздействия нестационарной температуры окружающей среды и...

Изобретение относится к области измерительной техники и предназначено для измерения давления в условиях воздействия температур измеряемой среды. Преобразователь содержит тензомост 1 датчика, интегратор 2 на операционном усилителе 3 с конденсатором в цепи отрицательной обратной связи 4, компаратор 5, выход которого через конденсатор 6 соединен с инвертирующим входом усилителя 3, а через дополнител...

Частотный преобразователь сигнала разбаланса тензомоста относится к области измерительной техники и предназначен для измерения давления в условиях длинных соединительных кабельных линий. Техническим результатом является повышение точности преобразования сигнала разбаланса тензомоста датчика за счет уменьшения влияния сопротивления интегратора Rи. Интегратор включает в себя выходное сопротивление...

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для измерения давления в условиях воздействия нестационарных температур (термоудара) измеряемой среды. Техническим результатом изобретения является повышение точности измерения давления в условиях воздействия термоудара за счет улучшения линейности и уменьшения влияния температурных деформаций мембраны на выходной сиг...

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам, предназначен для использования в различных областях науки, связанных с измерением давления в условиях воздействия нестационарных температур и повышенных виброускорений. Техническим результатом изобретения является уменьшение погрешности измерения в условиях воздействия нестационарной температуры окружающей среды и повышенных в...

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при изготовлении датчиков давления повышенной точности, устойчивых к воздействию нестационарных температур. Техническим результатом изобретения является повышение точности измерения датчиков давления, имеющих мембрану с жестким центром, путем улучшения линейности выходной характеристики в условиях воздействия нестационарных т...

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения давления в условиях воздействия температур измеряемой среды как в системах автоматического контроля, так и в цифровых приборах специального и универсального назначения. Техническим результатом изобретения является повышение точности устройства за счет введения дополнительных резисторов и уменьшения благодаря это...

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения давления жидких и газообразных агрессивных сред. Техническим результатом изобретения является повышение точности, повышение надежности и повышение технологичности датчика давления. Датчик давления с тонкопленочной тензорезисторной нано- и микроэлектромеханической системой содержит корпус, установленную в нем нан...

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения давления в условиях воздействия температур измеряемой среды, как в системах автоматического контроля, так и в цифровых приборах специального и универсального назначения. Техническим результатом изобретения является расширение функциональных возможностей устройства для измерения давления с частотным выходом на ос...

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения давления в условиях воздействия температур измеряемой среды как в системах автоматического контроля, так и в цифровых приборах специального и универсального назначения. Техническим результатом изобретения является повышение точности преобразования сигнала разбаланса тензомоста датчика за счет уменьшения температ...

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения давления жидких и газообразных агрессивных сред при воздействии нестационарных температур. Техническим результатом изобретения является повышение точности за счет уменьшения нелинейности измерительной цепи датчика, а также за счет уменьшения разницы расстояний от центра мембраны до тензорезисторов, включенных в...

Датчик давления повышенной чувствительности на основе нано- и микроэлектромеханической системы с тонкопленочными тензорезисторами. Датчик давления повышенной чувствительности на основе нано- и микроэлектромеханической системы с тонкопленочными тензорезисторами содержит корпус, установленную в нем нано- и микроэлектромеханическую систему (НиМЭМС), состоящую из упругого элемента - мембраны с жестки...

Полупроводниковый датчик давления с частотным выходным сигналом относится к измерительной технике и может быть использован для измерения давления в системах измерения, контроля и управления. Техническим результатом является повышение точности за счет повышения чувствительности при сохранении независимости параметров выходного сигнала от напряжения питания тензомоста, а также повышение надежности...

Датчик давления на основе тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы относится к области измерительной техники и предназначен для измерения давления при воздействии нестационарных температур и повышенных виброускорений. Датчик давления на основе тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы (НиМЭМС), содержащий корпус, установленную в нем НиМЭМС, состоящую из упругого элеме...

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам, предназначенным для использования в различных областях науки и техники, связанных с измерением давления в условиях воздействия повышенных виброускорений и нестационарных температур. Техническим результатом является уменьшение погрешности датчиков давления с нано- и микроэлектромеханическими системами (НиМЭМС) за счет уменьшени...

Изобретение относится к электронной технике, в частности к технологии изготовления тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления. В предлагаемом способе стабилизации нано- и микроэлектромеханической системы тонкопленочного тензорезисторного датчика давления разогрев тензорезисторов импульсным электрическим током проводят после герметизации внутренней полости чувствительного элемента датчика п...

Полупроводниковый датчик абсолютного давления повышенной точности относится к измерительной технике и может быть использован для измерения давления в системах измерения, контроля и управления. Техническим результатом является повышение точности измерения путем улучшения линейности выходной характеристики за счет размещения тензорезисторов. Полупроводниковый датчик абсолютного давления повышенной...

Изобретение относится к технологии изготовления тензорезисторных датчиков давления на основе тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем. Сущность: разогрев тензорезисторов импульсным электрическим током проводят после герметизации внутренней полости системы датчика при одновременном воздействии на его приемную полость давления, превышающего в 1,05 раза максимально допустимое перегрузо...

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения давления жидких и газообразных агрессивных сред в условиях воздействия нестационарных тепловых полей. Техническим результатом изобретения является повышение точности, повышение надежности и повышение технологичности датчика давления. Датчик давления на основе нано- и микроэлектромеханической системы повышенной...

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при измерении давления жидких и газообразных средств. Техническим результатом является повышение точности измерения давления и технологичности. В способе измерения давления с использованием тензорезисторного датчика давления на основе нано- и микроэлектромеханической системы (НиМЭМС), в режиме измерения значение измеренного...

Изобретение относится к датчикам вакуума для измерения давления разреженного газа в вакуумных установках различного назначения. Предложен способ изготовления датчика вакуума с наноструктурой, заключающийся в том, что тонкопленочный полупроводниковый резистор формируют в виде сетчатой наноструктуры (SiO2)50%(SnO2)50% путем нанесения золя ортокремниевой кислоты, содержащего гидроксид олова, на под...

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к тензорезисторным датчикам давления на основе тонкопленочных нано- и микроэлектрических систем (НиМЭМС) с мостовой измерительной цепью, предназначенным для использования в системах управления, контроля и диагностики технически сложных объектов длительного функционирования. Способ изготовления высокостабильного датчика давления на основе...

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к тензорезисторным датчикам давления на основе тонкопленочных нано- и микроэлектрических систем с мостовой измерительной цепью, предназначенным для использования в системах управления, контроля и диагностики технически сложных объектов длительного функционирования. Техническим результатом изобретения является повышение временной стабильн...