Синицына Ольга Валентиновна (RU)

Изобретение относится к областям микроэлектроники, электрохимии, микро- и нанолитографии и т.д. и может быть использовано для локального анодного окисления материалов, используемого при создании элементов микросхем, микро- и наноструктур, микромеханических и сенсорных систем. Согласно изобретению в зонде для локального анодного окисления материалов, выполненном в виде иглы с покрытием, электропро...