Тукмаков Константин Николаевич (RU)

Изобретение относится к микроэлектронике и служит для контроля качества металлизации электронных приборов в процессе их производства. Способ позволяет повысить качество диагностики электродиффузионных дефектов металлизации электронных приборов. Сущность изобретения: в способе контроля качества металлизации электронных приборов используют тестовую структуру, выполненную в виде дорожки металлизации...