Логинов Борис Альбертович (RU)

Использование: в производстве наноэлектронных и наномеханических приборов методом адсорбции-десорбции отдельных атомов на поверхности подложки. Сущность изобретения: в способе производства наноэлектронных и наномеханических приборов путем адсорбции отдельных атомов на поверхность подложки и путем десорбции отдельных атомов с поверхности подложки формирование прибора осуществляют зондом, размещаем...

Изобретение предназначено для линейных подвижек в точной механике. Например, оно может использоваться в контурографах, профилометрах и сканирующих зондовых микроскопах. Устройство прецизионного перемещения содержит направляющую (1), выполненную из монокристаллического материала, каретку (2), сопряженную с ней, а также привод (6), установленный на направляющей (1) и сопряженный с кареткой (2). В...