БЮРГЕР Норберт (DE)

Изобретение относится к устройству для очистки хрупких пластин (тонких дисков), таких как, например, полупроводниковые пластины, стеклянные подложки, фотошаблоны, компакт-диски и т.п. Устройство содержит несущее устройство, на котором пластины закреплены одной стороной, причем образован промежуток между двумя смежными пластинами, при этом устройство состоит из промывочного устройства, посредством...