Воротилов Константин Анатольевич (RU)

Изобретение относится к технологии изготовления многоуровневой металлизации интегральных схем. Сущность изобретения: в способе изготовления медной многоуровневой металлизации СБИС, включающем операции нанесения металлических и диэлектрических слоев, фотолитографию и селективное травление этих слоев, химико-механическую полировку диэлектрических слоев, на пластину кремния, покрытую диэлектриком, с...

Изобретение относится к микроэлектронике. Сущность изобретения: способ изготовления многоуровневых межсоединений интегральных микросхем с пористым диэлектрическим слоем в зазорах между проводниками содержит формирование первого проводящего и первого диэлектрического слоев, формирование отверстий в первом диэлектрическом слое, формирование на поверхности второго проводящего слоя с заполнением отве...

Изобретение может быть использовано в производстве энергонезависимых сегнетоэлектрических запоминающих устройств. Способ приготовления безводных пленкообразующих растворов для формирования сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца включает получение безводного ацетата свинца и его растворение в безводном органическом растворителе с добавлением алкоголятов циркония и титана и последующ...

Изобретение может быть использовано в производстве энергонезависимых сегнетоэлектрических запоминающих устройств. Для приготовления безводных пленкообразующих растворов для формирования сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца получают безводный ацетат свинца и растворяют его в органическом растворителе с добавлением алкоголятов циркония и титана с последующим осуществлением реакций...

Изобретение может быть использовано в микроэлектронике, в частности для производства энергонезависимых сегнетоэлектрических запоминающих устройств. Способ получения безводного ацетата свинца (II) для приготовления безводных пленкообразующих растворов цирконата-титаната свинца включает взаимодействие оксида свинца РbО, уксусной кислоты и уксусного ангидрида с последующим высушиванием полученного а...

Изобретение относится к области химического синтеза гетерометаллических пленкообразующих растворов, базирующихся на совместном использовании алкоксидных и карбоксилатных производных металлов. В способе раздельно растворяют металлические барий и стронций в смеси органического растворителя и карбоксилирующего агента для синтеза карбоксилатных производных бария и стронция, которые затем смешивают и...

Изобретение может быть использовано в микроэлектронике при изготовлении широкого класса управляемых электрическим полем элементов, в частности для производства энергонезависимых сегнетоэлектрических запоминающих устройств. Для изготовления сегнетоэлектрического конденсатора на подложку (1) напыляют нижний электрод (2), на который послойно наносят пленкообразующий раствор на основе цирконата-тита...