Круглов Евгений Владимирович (RU)

Изобретение относится к технике контроля материалов и изделий и может быть использовано для измерения параметров рельефа поверхности и механических характеристик материалов с субмикронным и нанометровым пространственным разрешением. Техническим результатом является повышение быстродействия и чувствительности устройства и расширение его функциональных возможностей. Устройство для измерения физико-...