Бирюков В.М.

  М 78680 Класс 49а, 33о1 СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ В. М. Бирюков РЕЗЬБОВОЙ РЕЗЕЦ Заявлено 30 декабря 1947 года за Хо 372566 в Гостехнику СССР Известные рсзьбовыс резцы с припаянной пластинкой из твердого сплава ири скоростном нарезании резьбы сильно вибрируют, вследствие чего резец не выдерживает нагрузки ll выкрашивается или же иластиика совс...

 Использование: для термического отжига пластин в различных газовых средах, осаждение диэлектрических слоев и эпитаксиальных слоев кремния в технологии производства полупроводников и микроэлектронике. Сущность изобретения: устройство содержит кварцевый реактор с внешним излучателем и подложкодержателем в виде вертикально установленной воронки с гнездом на верхнем торце для размещения пласт...