Баранов Б.А.

 Изобретение относится к полупроводниковой электронике, в частности к технологии изготовления полупроводниковых приборов с металлокерамических корпусах. Целью изобретения является повышение электрической прочности корпуса при повышенной влажности и выхода годных за счет снижения уровня тока утечки керамического материала. Металлокерамические корпуса, металлические части которых изготовлены...

  Использование: способ изготовления полупроводникового прибора с управляющим электродом субмикронной длины с помощью оптической фотолитографии, используемый в микроэлектронике. Сущность изобретения: при изготовлении прибора с помощью оптической литографии для получения зазора субмикронной длины между маскирующими слоями перед нанесением второго маскирующего слоя первый маскирующий слой че...