Гудошников Ф.А.

 Изобретение предназначено для измерения радиуса кривизны полированных полупроводниковых пластин. Цель изобретения расширение диапазона измерений. С помощью микроскопа измеряют расстояние между световыми точками, являющимися проекциями на экран разделенных лучей, отраженных поочередно от исследуемой и эталонной пластин, располагаемых в держателе, установленном между системой призм, предназ...