Юрьева Алла Владимировна (RU)

Изобретение относится к области газового анализа, в частности к детектирующим устройствам, применяемым для регистрации и измерения содержания микропримесей аммиака и других газов. Газовый датчик согласно изобретению содержит полупроводниковое основание, выполненное из поликристаллической пленки селенида цинка, и подложку, при этом подложкой служит электродная площадка пьезокварцевого резонатора....

Изобретение относится к области газового анализа, в частности к детектирующим устройствам для регистрации и измерения содержания аммиака. Датчик состоит из полупроводникового основания (1), выполненного в виде поликристаллической пленки твердого раствора (GaAs)0,75 (ZnSe)0,25, и подложки, которой служит электродная площадка (2) пьезокварцевого резонатора (3). Изобретение позволяет при существенн...