Трусов А.А.

 1. Устройство для получения поликристаллического кремния осаждением его из газовой фазы на нагретые электрическим током П-образные кремниевые стержни, включающее охлаждаемый металлический кожух с электроизолятором внутри него, установленный на опорной плите, снабженной штуцерами для подачи и отвода реакционного газа и имеющей отверстия, в которых установлены электроизолированные токоподво...

  Изобретение относится к горной промышленности и позволяет повысить эффективность отбойки за счет снижения прочности горных пород и уровня их обводненности. Перед бурением отбойных скважин (С) производят бурение, заряжание и взрывание дополнительных С, которые бурят в параллельных друг другу группах. Расстояние между группами устанавливают из соотношения L = 2Kd, м, где K - коэффициент, о...

 Использование: микроэлектроника, производство БИС и СБИС. Сущность изобретения: способ плазменного травления контактных окон в изолирующих и пассивирующих слоях диэлектриков на основе кремния, включает обработку слоя диэлектрика в индивидуальном диодном реакторе при давлении от 300 до 1200 Па и плотности ВЧ-мощности от 4,0 до 8,0 Вт/см2 в плазме четырехкомпонентной смеси при следующем соо...

 Использование: микроэлектроника, производство БИС и СБИС. Сущность изобретения: способ планаризации интегральных схем путем плазменного травления в индивидуальном диодном реакторе при давлении от 150 до 600Па и плотности ВЧ мощности от 3,5 до 8,0 Вт/см2 в четырехкомпонентной смеси при следующем соотношении компонентов, об. % : октофторпропан или тексафторэтан 13 - 70, гексафторид серы или...

 Использование: горная промышленность и строительство при производстве взрывных работ в породах любой степени обводненности. Сущность изобретения: при формирования колонки заряда путем подачи взрывчатого вещества (ВВ) в гидроизолирующего рукав через зарядный шланг и гильзу с одновременным их подъемом по мере наполнения гидроизолирующего рукава ВВ сход гидроизолирующего рукава с гильзы в ск...

 Изобретение относится к области оптического формирования изображения с использованием вычислительной техники, в частности к устройствам для получения дактилоскопических карт, используемых правоохранительными органами. Устройство содержит воспринимающую отпечатки пальцев поверхность, оптически связанные между собой проекционную оптическую систему, источник света, отклоняющую оптическую сис...

 Использование: в микроэлектронике для травления поверхности пластин в процессе изготовления сверхбольших интегральных схем. Сущность изобретения: способ реактивно-ионного травления нитрида кремния включает травление поверхности Si3N4 в плазме газовой смеси хладона с кислородом и аргоном. В качестве хладона используют 1,1,2,2-тетрафторэтан (С2F4Н2). Техническим результатом является увеличе...