Устройство для получения поликристаллического кремния

Устройство для получения поликристаллического кремния

Реферат

 

1. Устройство для получения поликристаллического кремния осаждением его из газовой фазы на нагретые электрическим током П-образные кремниевые стержни, включающее охлаждаемый металлический кожух с электроизолятором внутри него, установленный на опорной плите, снабженной штуцерами для подачи и отвода реакционного газа и имеющей отверстия, в которых установлены электроизолированные токоподводы для крепления концов кремниевых стержней, отличающееся тем, что, с целью сокращения подготовительно-заключительных операций, электроизолятор выполнен в форме защитного пояса, закрепленного на внутренней стенке в верхней части кожуха.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что электроизолятор выполнен секционным и закреплен на кронштейнах.