Кравцов А.М.

 1. Устройство для получения поликристаллического кремния осаждением его из газовой фазы на нагретые электрическим током П-образные кремниевые стержни, включающее охлаждаемый металлический кожух с электроизолятором внутри него, установленный на опорной плите, снабженной штуцерами для подачи и отвода реакционного газа и имеющей отверстия, в которых установлены электроизолированные токоподво...

 Способ получения четыреххлористого кремния из отходов производства кремния, содержащих полисиланхлориды, включающий хлорирование отходов газообразным хлором при повышенной температуре, отличающийся тем, что, с целью снижения энергоемкости процесса и его упрощения, хлорирование проводят в две стадии, на первой стадии при 20 - 25oC, а на второй при 250 - 500oC.