Способ получения четыреххлористого кремния
Патент 1007320
Авторы
- Данов П.А.
- Кравцов А.М.
- Малороссиянов В.С.
- Назаров Ю.Н.
- Старобина Т.М.
- Ходяков В.А.
- Чапыгин А.М.
- Швец А.П.
- Юшко В.П.
Классы МПК
Способ получения четыреххлористого кремния
Реферат
Способ получения четыреххлористого кремния из отходов производства кремния, содержащих полисиланхлориды, включающий хлорирование отходов газообразным хлором при повышенной температуре, отличающийся тем, что, с целью снижения энергоемкости процесса и его упрощения, хлорирование проводят в две стадии, на первой стадии при 20 - 25oC, а на второй при 250 - 500oC.