ГОЛЬДФАРБ ВЛАДИМИР АБРАМОВИЧ

  О П И С А- - Н И Е (и) 217552 ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Сооетскик Социалистических Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ. (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 12.11.66 (21) 1112179/26-25 с присоединением заявки № (32) Приоритет Опубликовано 15.05.75. Бюллетень № 18 Дата опубликования описания 28.07.75 (51) М. Кл. Н 011 41/14 Н 0511 1/22 Н Olj 37/34 С 23с 15/00 Государст...

  Союз Соввтсннк Социапистнчвсимк Рвспублии ОП КСАН И ИЗОБРЕТИ НИ К АВТОРСКОМУ СВИДВТИЗЬСТ (B3) Дополнительное к авт. саид-ву (22)Заявлено 28.05. 80 (21) 2931339/28 с присоединением заявки М (23) П риоритет Опубликовано 07. 02. 82. Бюллетень Д,ата опубликования описания 07. 3Ьоуавротеениый комитет СССР оо делан изобретений и открытий В. А. Гол ьдфарб, B. M. Руби нштейн, И...

  Изобретение относится к области электроники, в частности к методам изготовления приборов на твердом теле с использованием ниобата лития. Обеспечивается повышение скорости травления. Способ включает сухое травление в плазме высокочастотного разряда газообразного гексафторида серы SF6 при условии Т 700-3, 4Р , где Т - температура ниобата лития, К; Р - давление SFg , равное Па. Дост...