Способ плазменного нанесения пленок

Способ плазменного нанесения пленок

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А- - Н И Е (и) 217552

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Сооетскик

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ. (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 12.11.66 (21) 1112179/26-25 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 15.05.75. Бюллетень № 18

Дата опубликования описания 28.07.75 (51) М. Кл. Н 011 41/14

Н 0511 1/22

Н Olj 37/34

С 23с 15/00

Государственный комитет

Совета Министров СССР ло делам изооретеиий и открытий (53) УДК 621.387.143 (088.8) (72) Авторы изобретения Э. В. Гончаров, В. А. Гольдфарб, В. В. Крячко и В. Ф. Сыноров (71) Заявитель (54) СПОСОВ ПЛАЗМЕННОГО НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК

Предмет изобретения

Известные способы плазменного нанесения пленок заключаются в расплавлении наносимого вещества в разрядной камере высокочастотного безэлектродного плазматрона и транспортировке его к обрабатываемой поверхности с помощью струи инертного рабочего газа, например аргона.

Однако в этих способах сложна система подачи наносимого вещества, мала контролируемость процесса и качество наносимых пленок невысокое.

Для упрощения процесса и улучшения его контролируемости, а также повышения плотности наносимой пленки по предлагаемому способу из наносимого вещества изготовляют твердый вкладыш, который вводят в разрядную камеру высокочастотного плазматрона.

Нанесение покрытия происходит в результате эрозии вкладыша при взаимодействии его с газоразрядной плазмой. Благодаря пространственной неоднородности температуры в зоне разряда положение вкладыша относительно этой зоны определяет скорость нанесения пленки.

Существуют вещества, из которых невой. можно выполнить твердый вкладыш, Для получения пленок эти материалы наносят в виде суспензии на твердый вкладыш из другого подходящего материала с последующим введением его в камеру плазматрона.

Способ плазменного нанесения пленок, заключающийся в расплавлении наносимого вещества в разрядной камере высокочастотного безэлектродного плазматрона и транспорти15 ровке его к обрабатываемой поверхности с помощью струи инертного рабочего газа, например аргона, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса и улучшения его контролируемости и увеличения плотности

20 покрытия, изготовляют твердый вкладыш из наносимого материала и вводят его в разрядную камеру плазматрона, а скорости эрозии вкладыша и нанесения пленки регулируют изменением температуры плазмы. о