ДЕЕВ А.А.

  Союз Советским Социалистическим Республик (11)235б55 1 ъ / / К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. саид-ву (22) Заявлено 21.06.67(2!) 1166212/28-12 с присоединением заявки К (23) Приоритет (43) Опубликовано050678. Бюллетень И 21 (51) М. Кл. 13 03 П 45/50 Геандаратнннный номнтнт Валата Мнннатрав CCCP as делам наабрнтаннй н атнрытнй (53) УДК 677. 054 . 27 (088.8...

  Изобретение относится к полупроводниковой технологии, а именно к планерной (групповой) технологии изготовления интегральных схем на подложках - полупроводниковых пластинах , и может быть использовано для ;t уменьшения толщин полупроводниковых . пластин путем травления их нерабочих сторон. Цель - повышение процента выхода годных кристаллов интегральных схем за счет исключения подт...