Фомин Ю.Н.

 Способ селективного травления полупроводниковых структур, включающий травление участков полупроводникового кристалла в растворе электролита при приложенном напряжении, отличающийся тем, что, с целью повышения воспроизводимости и улучшения характеристик приборов путем селективного травления без маскирования, травление проводят при напряжении ниже порогового на 0,5-10 В при дополнительном в...

 Изобретение относится к измерительной технике. Техническим результатом использования изобретения является повышение чувствительности измерения линейных перемещений на больших расстояниях за счет устранения влияния воздушной среды в протяженном измерительном плече системы и частотной нестабильности лазерного излучения. Результат достигается тем, что интерферометрическая система содержит ла...

 Изобретение относится к лазерной измерительной технике. Техническим результатом использования изобретения является получение прямого сигнала перемещений при одновременном упрощении системы регистрации, повышении ее надежности и уменьшенном ее стоимости. Результат достигается тем, что двухчастотная интерферометрическая система содержащая лазерные источники, уголковый отражатель, связываемы...

 Интерференционное устройство дистанционной регистрации акустических колебаний диффузно отражающих поверхностей относится к области измерительной техники, а именно к устройствам регистрации колебаний поверхности объекта. Интерференционное устройство дистанционной регистрации акустических колебаний диффузно отражающих поверхностей содержит источник когерентного излучения, светоделитель, два...