Авторы изобретени А. Г. Творожников, В. М. Бирюков, А. В. Захаров, В. И. Москвец, В. П. Мухин, В. А. Силаев , В. Н. Федорук
Изобретатель Авторы изобретени А. Г. Творожников, В. М. Бирюков, А. В. Захаров, В. И. Москвец, В. П. Мухин, В. А. Силаев , В. Н. Федорук является автором следующих патентов:
Способ автоматического! управления процессом роста нитевидных кристаллов нитрида кремния
:союзнлЯ TFXHHq CKJER ПИСАНИЕ ЗОБРЕТ ЕНИЯ АВТОР СИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ имое от авт. свидетельства ¹ ено 05.VII.1971 (№ 1682545!23-26) М. Кл. В 01 j 17,,32 G 05d 11 02 оед«нен (ei(заявк« ¹ итет иковано 15Л .1973. Б(Ьллетень М 21 УДК 669.782.094.1, 2.661. .96:65.011.56:62-98 (088.8) опубликования описания 2Л I I I.1973 Авторы изобретения А. Г. Творожников, В. М. Бирюков, A. В. З...
380344