Способ автоматического! управления процессом роста нитевидных кристаллов нитрида кремния

Способ автоматического! управления процессом роста нитевидных кристаллов нитрида кремния

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

:союзнлЯ

TFXHHq CKJER

ПИСАНИЕ

ЗОБРЕТ ЕНИЯ

АВТОР СИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ имое от авт. свидетельства ¹ ено 05.VII.1971 (№ 1682545!23-26) М. Кл. В 01 j 17,,32

G 05d 11 02 оед«нен (ei(заявк« ¹ итет иковано 15Л .1973. Б(Ьллетень М 21

УДК 669.782.094.1, 2.661. .96:65.011.56:62-98 (088.8) опубликования описания 2Л I I I.1973

Авторы изобретения А. Г. Творожников, В. М. Бирюков, A. В. Захаров, В. И. Москвец, В. П. Мухин, В. А. Силаев и В. Н. Федорук

Заявитель

СПОСОБ АВТОМАТИЧЕСКОГО УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССОМ

РОСТА НИТЕВИДНЫХ КРИСТАЛЛОВ НИТРИДА КРЕМНИЯ

Изобретение относится к автоматическому да вводится также текущее значение концентуправлению процессами высокотемпературног;, рации водорода ll отходящих газах с помощь о газофазного осаждения. датчика концентрации 8. Сую(ирующее устИзвестный способ управления процессом, ы- ройство 2 вычисляет текущее значение конращивания нитевидных кристаллов нитр«да 5 центрации водорода в реакционной зоне, когокремния путем стабилизации соотношения рас- рое сравнивается на элементе сравнения 4с заходов азота и пропана на входе в реактор не данным. Заданное значение концентрации подает возможности поддер>кивать оптималь,(»(e ступает от задатчика 5. Сигнал рассогласоваусловия роста нитевидных кристаллов. ння поступает на регулятор, б расхода пропаС целью устранения указанного недостат- 10 на, который в зависимости от величины и знака по предлагаемому способу изменяют соот- ка рассогласования изменяет расход пропана ношение расходов азота и пропана на входе регулирующим органом 7, что приводит к изв реактор в соответствии с концентрацией ьо- менению расхода пропана на входе в реактор дорода в отходящих из реактора газах. 8 и, следовательно, к изменению концентра

Способ состоит в определении концептрац((и 15 ции водорода в реакционной зон е. Текущее водорода в азоте, поступающего в зону реак- значение расхода пропана определяется с поции и концентрации водорода в отходящих из мощью датчика расхода пропана 9. зоны газах. По измеренным значениям концентрации водорода в газах на входе и вы èде из реакционной зо«ы автоматически вы- 20 Предмет «зобретения числяется количество пропана, необходимого для поддер>кания требуемой концентрации вэ- Способ автоматического управления процесдорода в зсше. Эта величина используется сом роста нитевидHb(x кристаллов нитрида для управления расходом пропана в реакци-, кремния путем стабилизации соотношения раn((íóþ зону. 25 ходов азота и пропана на входе в реактор, На чертеже приведе((а cxe3(a реализацй(3 от;1ича(ощавслтем что, с цечью поддержания предлагаемого(сн(1еоК(в. -.- —, оптиыальнв(х условий роста, - изменяют соотДатЧИКОМ 1 ИЗМЕРЯЕ((3(= КО(тЖйтРайгИЯ"Вт(Д(т:- :- HbgIeaHÅ РаСХОДОВ. аэвта И : ПРОПаНа На ВХОДЕ рода в азоте на вх;одев реактор и вводится"--- - реат<тбр" в соответствии с концентрацией воее значение в суммиру(ощее устройство 2,:ку- 30 довода:-в отходя«(их из реактора газах.,380344

Составитель В. Лейбович

Техред Г. Дворина

Корректор И. Божко

Редактор Е. Левина

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 2086/6 Изд . Кз 519 Тираж 678 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий прн Совете Министров СССР

Москва, 3К-35, Раушская наб., д. 4/5